進口真空泵維修

是采用自主研發(fā)的真空泵，它低速轉(zhuǎn)動連續(xù)排氣，真空度可達到１０-1Pa，它可稱為是劃時代的真空泵。實現(xiàn)了極限真空度的全球泵浦轉(zhuǎn)速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮，其特點是可以地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒，廣泛用于半導體，液晶，太陽能電池，，化工等真空行業(yè)。單級結(jié)構(gòu)簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應生成物的半導體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。單級結(jié)構(gòu)簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應生成物的半導體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。

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在連接進氣口管路時，管道通徑應盡可能與泵的進出口通徑*，以保證通導；如進排氣口管道過小、過長、由于管阻過大則整個系統(tǒng)會抽速下降，被抽容器真空度也必然受影響；泵啟動前應接通冷卻水，進出水口用內(nèi)徑Φ10增強尼龍管。應保證管道無漏水現(xiàn)象，冷卻水進水溫度要求低于35℃;進水壓力不低于0.1Mpa；進口真空泵維修出口油霧過濾器為標準配置，真空泵油循環(huán)使用，無油煙，清潔、環(huán)保、省油。

若反方向旋轉(zhuǎn)時,可把相電源中任意二相接頭對換一下 即可。否則,旋片真空泵不起抽氣作用反而會把真空泵油和大氣打入被抽系統(tǒng),造成嚴重污染。工作結(jié)束后 . 應先關(guān)高真空閥,后關(guān)低真空閥 . 再停旋片真空泵,然后對其放氣 (如使用電磁真空帶 放氣閥,可以自動放氣 ) 以防止油返回到真空系統(tǒng),后切斷總電源 . 停水。需要通冷卻水的機械真空泵 . 在開機前應先通冷卻水, 然后再啟動。 冷卻水的出口水溫不宜超過30度。進口真空泵維修真空泵經(jīng)過長期工作后出現(xiàn)故障一般是這幾點：真空泵真空度不足，真空泵運行溫度過高，真空泵運行聲音大，更換真空泵易損件之后對真空泵進行清洗組裝，達到保養(yǎng)真空泵的目的。