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無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。在單流向型無塵室,風速測量的位置可由業(yè)主預定,一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則:排除/除去在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中,為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
無塵室的優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,無塵室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。
無塵室的缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出,易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再重啟,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素,它對噪音也有一些影響。因此風速測量,都是放在無塵室測試的步。風速測量的目的,是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿足設計規(guī)范,其次是確認氣流的均勻度。層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其無塵室等級為Class1~100。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制,室內(nèi)換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。
潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑膠底,布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可,鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂(Vinyl),在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用,手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用,原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。(清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實地演示)無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理,并定期做清洗,清洗須在潔凈室內(nèi)進行,并以純水配合清潔溶劑,并經(jīng)約0.2μm過濾器為之,一般洗滌周期視清潔度等級而定,在高潔凈區(qū)為2~3天,其他區(qū)域則為5天~1星期,洗滌完畢干燥后應立即密封。蘇州卓宇泰公司是一家主營設備搬遷、精準定位、無塵車間、設備安裝,設備包裝,大型廠房搬遷等業(yè)務。洗滌衣置放場所須為潔凈室,備用品或新品存放柜內(nèi),正使用者則吊掛衣架上,以為方便取用。