真空泵油的性能要求

1、密封。具有適宜的黏度，在低溫下能使真空泵迅速啟動，在高溫下能具有良好的密封性，在泵內(nèi)具有較低的溫升。不含有輕質(zhì)的易揮發(fā)組分，降低使用過程中真空泵的返油率。

2、飽和蒸汽壓。飽和蒸汽壓是真空泵油較關(guān)鍵的指標(biāo)之一。在恒溫的密閉容器中，當(dāng)氣液兩相達(dá)到動態(tài)平衡時的壓力稱為飽和蒸汽壓。

3、極限壓力和極限分壓力

①極限全壓力。由屁啦尼計或熱偶真空計測出真空泵所有物質(zhì)（氣體）產(chǎn)生壓強的總和。國外目前重視全壓強的測試指標(biāo)。

②極限分壓力。用水l銀壓縮式真空計（麥?zhǔn)嫌嫞y得的泵的極限空氣分壓力，雙級旋片泵分壓力應(yīng)為≤6*10-5kPa。極限全壓力與極限分壓力差值要求不大于一個數(shù)量級。二者之間的差值越大，真空泵油中含有的揮發(fā)成分就越多，油品的性質(zhì)就越差。

真空泵更換真空泵使用油的方法：

1.重力法

  擰開排油閥，將泵體郵箱抬高讓真空泵內(nèi)舊油自動的流到旋油螺帽位置讓油流出。舊油放盡后，從真空泵加油處注入少量的干凈真空泵油（100~500ml），沖洗真空泵腔內(nèi)部，接著，開動真空泵運轉(zhuǎn)1min左右，再關(guān)真空泵，將注入的新油放出。若放出的 油仍不干凈，應(yīng)繼續(xù)注入新的雜油沖洗，直到干凈為止。然后，擰緊排油閥，擰下加油孔上的加油帽，向真空泵內(nèi)加入新的 真空泵油，使油面達(dá)到油標(biāo)線，再旋上加油帽。2.加壓法   將容器放在放油口下方，旋下放油口螺釘。關(guān)閉抽氣口，同時開啟真空泵，打開氣鎮(zhèn)閥和遮蓋真空泵的部分排氣口，以產(chǎn)生一個足夠的內(nèi)部壓強，使臟油迅速的放出。然后，按照步驟1沖洗真空泵腔內(nèi)部，換新油。

對于普通的無油真空系統(tǒng)愛發(fā)科真空泵油來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹l底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。

　　愛發(fā)科真空泵油的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

　　1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

　　4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)l藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有l機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。