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常見真空腔體技術性能
材質:不銹鋼、鋁合金等
腔體適用溫度范圍:-190℃~ 1500℃(水冷)
密封方式:氟膠O型圈或金屬無氧銅圈
出廠檢測事項:
1、真空漏率檢測1.3*10-10mbar*l/s
2、水冷水壓檢測:8公斤24小時無泄漏檢測.
內外表面處理:拉絲拋光處理、噴砂電解處理、酸洗處理、電解拋光處理和鏡面拋光處理等.
真空腔體
真空技術主要包括真空獲得、真空測量、真空檢漏和真空應用四個方面.在真空技術發(fā)展中,這四個方面的技術是相互促進的.
隨著真空獲得技術的發(fā)展,真空應用日漸擴大到工業(yè)和科學研究的各個方面.真空應用是指利用稀薄氣體的物理環(huán)境完成某些特定任務.有些是利用這種環(huán)境制造產品或設備,如燈泡、電子管和等. 這些產品在使用期間始終保持真空,而另一些則只是把真空當作生產中的一個步驟,產品在大氣環(huán)境下使用,如真空鍍膜、真空干燥和真空浸漬等.
真空的應用范圍極廣,主要分為低真空、中真空、高真空和超高真空應用.
真空腔體加工的注意事項
真空腔體是保持內部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體加工要考慮容積、材質和形狀。
超高真空系統主要采用不銹鋼材質。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有優(yōu)良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、能夠在-270~900℃工作等優(yōu)點,在高真空和超高真空系統中,應用較廣。
為了減小腔體內壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體,更多的是利用電解拋光來進行表面處理。