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感光(曝光)完成后就要進(jìn)行下一步工作——顯影。顯影的目的是通過顯影藥將未曝光的地方?jīng)_走,經(jīng)過曝光的地方固化,這樣就能確定需要被腐蝕和不被腐蝕的圖案。以便后續(xù)蝕刻加工的精度。
曝光后要檢測曝光后的圖形質(zhì)量,若有遺漏需要進(jìn)行人工補(bǔ)油補(bǔ)點。補(bǔ)油后需要進(jìn)行第二次烘烤。
之后就進(jìn)行顯影,確定圖形的清洗度,顯影過程中主要是控制藥的濃度,溫度,速度以及完成后的烘干溫度。
對常用金屬材料的蝕刻以現(xiàn)有技術(shù)水平完全可以做較高的蝕刻速度可達(dá)0.1m/min以上這么快的速度需要腐蝕能力更強(qiáng)的配方及更高的溫度,為了維持溶液成分的相對穩(wěn)定可以采用大體積或自動分析調(diào)整技術(shù),但在這里就有一個可用于批量生產(chǎn)的防蝕層怎么制作的問題本書中所講的一定是批量生產(chǎn)而不是實驗室的工作。
所以快的蝕刻速度只是一個相對概念,是在容易控制的同時,防蝕層制作成本可接受、蝕刻深度均勻的前提下快的蝕刻速度才是有意義的。