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所有的工作臺都需要有電擴散面覆蓋,有一個1兆歐的電阻將臺面與地相接,這樣的臺面與地相接,這樣的臺面將所有置于其上的電荷不斷從臺面?zhèn)鞯降孛?,臺面上有一個用于接手帶的扣環(huán),手帶和臺面的接地點須是相同的,這樣才能做到以較短路徑接地。
工作臺表面必須每星期用清潔劑清洗。
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首先在器件和產品的設計中,應充分體現靜電防護的思想,在器件內部設置靜電防護元件(ESD Protection Device),盡量使用對靜電不敏感的器件以及對所使用的靜電放電敏感(ESDS, ESD-sensitive)器件提供適當的輸入保護,使其更合理地避免ESD的傷害。MOS工藝是集成電路制造的主導技術, 以金屬-氧化物-半導體場效應管為基本構造元件。由于MOS器件中場效應管的柵、源極之間是一層亞微米級的絕緣柵氧化層,故其輸入阻抗通常大于1000M ,并且具有5pF左右的輸入電容,極易受到靜電的損害。因此,在MOS器件的輸入級中均設置了電阻-二極管防護網絡,串聯(lián)電阻能夠限制尖峰電流, 二極管則能限制瞬間的尖峰電壓。器件內常見的防護元件還有:電容、雙極晶體管、可控硅整流器(SCR,見圖1)等, ESD發(fā)生時,它們在受保護器件之前迅速作出反應,將ESD的能量吸收、釋放,使被保護器件所受沖擊大為降低。正常情況下,防護元件在其一次崩潰(First Breakdown)區(qū)內工作,不會受到ESD損傷,一旦外加電壓或電流過量(Overstress),進入二次崩潰(Secondary Breakdown)區(qū)的防護元件將受到不可逆轉的損害,失去對器件的保護作用。另外,運輸中應保持中速行駛,以保證油罐車油罐內油料相對平穩(wěn),還應盡量減少緊急制動。
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潔凈技術是一門綜合技術,其核心技術包括生產工藝技術及其工藝設計、空氣凈化、潔凈建筑以及各類產品生產所需的專業(yè)技術(如微電子產品生產所需的高純物質——— 高純水、高純氣、高純化學品的相關專業(yè)技術等)。這些專業(yè)技術在潔凈室設計中都是不可缺少的,它們必須密切配合,圍繞著產品生產的需要,相互協(xié)調、統(tǒng)籌安排。潔凈廠房的設計和建造就是要在做好各相關專業(yè)設計的基礎上,做好各項安全設施——— 消防、防火、防爆、安全報警,確保潔凈室的安全運行。與此同時,它還要處理好電源、冷源、熱源等動力供應,節(jié)約能源;安排好各類配管配線,確保各種流體介質的輸送質量,減少材料消耗,方便施工安裝和運行維護。這主要因為濕度較高時,絕緣材料表面吸附了水分子(有時還有導電雜質)而降低了絕緣,便于靜電泄漏。