凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無(wú)塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無(wú)塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

外部水管路必須清潔干凈后，方可與本空調(diào)機(jī)組的換熱進(jìn)、出水管路連接，以免將換熱器管路堵死；冷水盤(pán)管一般為下進(jìn)上出，蒸汽盤(pán)管一般為上進(jìn)下出，按標(biāo)識(shí)接管，以避免接管錯(cuò)誤；空調(diào)機(jī)組進(jìn)、出水管一般采用管螺紋連接，與機(jī)組水管路相接時(shí)，不要用力過(guò)猛，以免損壞換熱器；為方便操作運(yùn)行，在機(jī)組外管路上應(yīng)設(shè)置放氣閥與泄水閥。2、送風(fēng)管道、回風(fēng)管道使用熱鍍鋅板，凈化保溫效果較好，阻燃也有一定的效果。

7、溫濕度要求：十萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

8、配電：潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。