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真空鍍膜磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象。但有一共同點(diǎn):利用磁場(chǎng)與電子交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,從而增大電子撞擊亞氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材。
不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場(chǎng)特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)。但旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),同時(shí)濺射速率要減小。旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)多用于大型或貴重靶。如半導(dǎo)體膜濺射。對(duì)于小型設(shè)備和一般工業(yè)設(shè)備,多用磁場(chǎng)靜止靶源。
一般要求耐高溫的部件,做真空電鍍都要在噴一層UV油,這樣使得產(chǎn)品表面即有光澤、有耐高溫、同時(shí)又保證附著力。
因此,為保證真空電鍍的附著力,均需后續(xù)進(jìn)行特殊的噴涂處理,成本當(dāng)然高些。C、水電鍍顏色較單調(diào),一般只有亮銀和亞銀等少數(shù)幾種,對(duì)于閃銀、魔幻藍(lán)、裂紋、水滴銀等五花八門(mén)的七彩色就無(wú)能為力了。而真空電鍍可以解決七彩色的問(wèn)題。