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磁 控 靶
磁控濺射靶是真空磁控濺射鍍膜的核心部件,它的重要作用主要表現(xiàn)在以下兩個方面
(1)對于大面積表面的鍍膜,磁控濺射靶影響著膜層的均勻性與重復(fù)性;
(2)當(dāng)膜層材料為貴重金屬時,靶的結(jié)構(gòu)決定著靶材(形成薄膜的材料),即該貴重金屬的利用率.從靶結(jié)構(gòu)上分為:圓形平面靶/柱狀靶/矩形靶/
常規(guī)圓形平面靶規(guī)格:
1.靶材尺寸:Ф50mm;Ф60mm;Ф75mm;Ф100mm;Ф150mm;可定制各類磁控靶
2.永磁靶(可濺射磁性材料),射頻濺射與直流濺射兼容,靶內(nèi)水冷;
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水冷銅電極介紹
水冷電纜電極是一種中空通水,用于大電流加熱設(shè)備的特種電纜,通常由電極(電纜頭)、導(dǎo)線、外護套管三部分組成。
普通水冷電纜電極使用銅管及銅排焊接而成,與設(shè)備連接不緊密;導(dǎo)線采用銅裸線絞制,彎曲半徑大;外護套管使用普通橡膠軟管,耐壓低;套管與電極采用普通卡箍緊固,密封性不好,易漏水。水冷電纜電極采用整體銅棒車、銑加工而成,表面做鈍化或鍍錫處理;導(dǎo)線使用鍍錫銅絞線或漆包線經(jīng)數(shù)控繞線機編織而成,柔軟度高,彎曲半徑?。煌庾o套管使用具有加強夾布層的合成橡膠管,耐壓高。干燥已經(jīng)清潔的玻璃表面沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司本著多年真空配件與零件行業(yè)經(jīng)驗,專注真空配件與零件研發(fā)定制與生產(chǎn),先進的真空配件與零件生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù),建立了嚴格的產(chǎn)品生產(chǎn)體系,想要更多的了解,歡迎咨詢圖片上的熱線電話。套管與電極使用紫銅卡箍在專業(yè)設(shè)備上冷擠壓緊固,密封性好,不易漏水。
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靶材鍍膜前的清潔
在進行鍍膜前都必須將基片進行清潔,對于在線鍍膜來說,這是很小的事情,但對離線鍍膜來說卻相當(dāng)重要,而且操作起來也比較困難,對于大面積的鍍膜來說,將玻璃基片完全清潔干凈是不可能的,因此,如何達到鍍膜所必須要求的潔凈程度就變得非常重要。要保持清潔程度足夠高,如果清潔程度不夠,膜層容易老化,甚至脫膜等現(xiàn)象。要保持清潔程度足夠高,如果清潔程度不夠,膜層容易老化,甚至脫膜等現(xiàn)象。不同用途,不同加工工藝的膜層對清潔程度要求是不一樣的,對于目前我司生產(chǎn)的玻璃來說, Low-E玻璃要求的玻璃潔凈度不如熱反射玻璃高。目前要為鍍膜準備大面積的鍍膜玻璃基片,主要采用的是一 種濕式清潔技術(shù),這種技術(shù)包括三部分:
1.松動玻璃表面的雜質(zhì)
2.去除已經(jīng)松動的、分離的雜質(zhì)
3.干燥已經(jīng)清潔的玻璃表面
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司本著多年真空配件與零件行業(yè)經(jīng)驗,專注真空配件與零件研發(fā)定制與生產(chǎn),先進的真空配件與零件生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù),建立了嚴格的產(chǎn)品生產(chǎn)體系,想要更多的了解,歡迎咨詢圖片上的熱線電話!?。?span style="text-align:center;text-indent:2em;">