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流量控制器的控制響應(yīng)速度
物理時間常數(shù)
物理時間常數(shù)用希臘字母Tau來表示,是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來描述響應(yīng)時間的標(biāo)準(zhǔn)之一,即:控制器到達(dá)設(shè)定值某個百分比所需要的時間,被定義為1-1/e, 其中e是作為自然對數(shù)底數(shù)的無理數(shù),其值為2.72,所以1-1/e即為設(shè)定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標(biāo)準(zhǔn),可能說明不了什么問題,因為余下的設(shè)定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。流量控制器的穩(wěn)定控制時間由于到達(dá)設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達(dá)設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。從下面示波器截圖中可以看到:ALICAT?質(zhì)量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達(dá)了設(shè)定值的63.2%。
任意設(shè)定值百分比變化區(qū)域
不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設(shè)定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來定義設(shè)備響應(yīng)速度,比如:從設(shè)定值的10%到達(dá)90%所需要的時間。由于和后的 10%控制響應(yīng)曲線變化,由此而得出的控制響應(yīng)速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示,ALICAT?質(zhì)量流量控制器用了11.4毫秒到達(dá)設(shè)定值, 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到:50%那段跨度,低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言,如果按照從設(shè)定值10%到達(dá)90%所用的時間來定義設(shè)備響應(yīng)速度的話,那么結(jié)論是6~7毫秒。四、設(shè)備的精度高價位也會高,并且還需要精心的維護,在振動以及使用條件進行經(jīng)常檢查等,確保精度以及儀表的安全。
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流量控制器
使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?
部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源, 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通??梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時, 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露, 結(jié)露會影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露, 可以對管路和MFC適當(dāng)加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩(wěn)定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓,適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。
選擇產(chǎn)品和訂貨時應(yīng)當(dāng)注意
注意選擇合適的響應(yīng)時間指標(biāo)
有的應(yīng)用系統(tǒng)對MFC的響應(yīng)時間有較高的要求,用戶應(yīng)根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應(yīng)時間指標(biāo)的同時,還應(yīng)注意其響應(yīng)過程及動態(tài)特性。
注意對安裝位置有無要求
有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。
注意使用氣體和適用范圍
MFM/MFC 對使用的環(huán)境及介質(zhì)溫度﹑氣源壓力﹑介質(zhì)(特別是使用對腐蝕性氣體)情況等均有一定適用范圍,請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。
注意接頭形式
通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應(yīng)用。
訂貨應(yīng)注明:
產(chǎn)品名稱、型號、流量規(guī)格、標(biāo)定氣體、使用氣體(特別是腐蝕性氣體)、接頭形式和數(shù)量。