江蘇凱美電子材料有限公司是由一群專業(yè)人士組建，擁有多年的氣體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)化公司。

漲知識(shí)！帶你了解14類工業(yè)氣體

蝕刻氣體

蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 干法蝕刻由于蝕刻方向性強(qiáng)、工藝控制方便、無脫膠現(xiàn)象、無基片損傷和沾污, 所以其應(yīng)用范圍日益廣泛。

摻雜氣體(Dopant Gases)

在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中, 將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi), 以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率, 用來制造PN結(jié)、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。

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安全防護(hù)

工作時(shí)不能露出皮膚。通風(fēng)以保持空氣新鮮干燥。氣體鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處，要遠(yuǎn)離熱源和火種，戶外存放。設(shè)備管道可用氦探漏器、肥皂水探漏。應(yīng)配備好應(yīng)急處置用品。

純PH3對通用金屬材料無腐蝕性，但是在正常條件下不宜使用鋁、鋁合金和銅?？梢允褂锰间?、不銹鋼、蒙乃爾、鎳基合金、聚四氟乙稀、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、氟化橡膠、玻璃、石英、硼硅酸玻璃?？赡馨l(fā)生磷烷著火的部位盡量避免使用可燃性材料。

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液氮罐的安全運(yùn)輸

液氮罐在運(yùn)輸過程中必須裝在木架內(nèi)墊好軟墊，并固定好。罐與罐之間要用填充物隔開，防止顛簸撞擊，嚴(yán)防傾倒。裝卸車時(shí)要嚴(yán)防液氮罐碰擊，更不能在地上隨意拖拉，以免減少液氮罐的使用壽命。

液氮罐一般可分為液氮貯存罐、液氮運(yùn)輸罐兩種。 貯存罐主要用于室內(nèi)液氮的靜置貯存。

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氣瓶使用

1. 氣瓶的放置地點(diǎn)不得靠近熱源，應(yīng)與辦公、居住區(qū)域保持10m以上。      

2. 氣瓶應(yīng)防止曝曬、雨淋、水浸，環(huán)境溫度超過40℃時(shí)，應(yīng)采取遮陽等措施降溫。        

3. 氧氣瓶和氣瓶使用時(shí)應(yīng)分開放置，至少保持5m間距，且距明火10m以外。

4. 盛裝易發(fā)生聚合反應(yīng)或分解反應(yīng)氣體的氣瓶，如氣瓶，應(yīng)避開源。      

5. 氣瓶應(yīng)立放使用，嚴(yán)禁臥放，并應(yīng)采取防止傾倒的措施。