元素氟和硫直接反應(yīng)法。

直接電解法　將硫、二氯化liu、一氯化硫、二liu化碳或硫化氫等加入到無水氟化氫中，以鎳為陽極進(jìn)行電解即可制得六氟化硫。加有六氟化硫的電流遮斷器額定電壓高，且不易i燃燒，另外，六氟化硫還用于各種加su器、超高壓蓄電器、同軸電纜和微波傳輸?shù)慕^緣介質(zhì)。用硫化氫與無水氫氟酸電解時，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃，電壓為7～20V。電解產(chǎn)物應(yīng)除去雜質(zhì);催化氧化法　金屬氧化物為催化劑，于300℃下，用空氣氧化四氟hua硫，該法缺點(diǎn)是收率過低。

熱解法，在500～2000℃使SF4熱解，但該法的轉(zhuǎn)換率及收率皆低，采用微波放電分解SF4亦可。氟hua鈷法　將硫磺或其他硫化物在三fu化鈷和二氯hua鈷存在下與過量氟作用以制備六氟化硫。這個過濾器就像防毒面具的過濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復(fù)合附劑，過濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護(hù)人員安全。二氧化硫與氟燃燒法。聯(lián)產(chǎn)法　氯氟代甲烷和六氟化硫聯(lián)產(chǎn)，氟化碳（COF2）與六氟化硫聯(lián)產(chǎn)。

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現(xiàn)使人窒息的危險，設(shè)計戶內(nèi)通風(fēng)裝置時要考慮到這一情況。

高壓擊穿技術(shù)。

Dian擊穿技術(shù)是從SF6在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開關(guān)柜中演變而來的。（2）為使SF6泄漏氣體及時排換，主尖在進(jìn)行充裝的同時開啟通風(fēng)機(jī)，認(rèn)真遵守空氣SF6含量不得超過1000ppm的規(guī)定。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間Dian壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結(jié)構(gòu)相對簡單，成本低，檢測精度相對高的特點(diǎn)。

　　在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強(qiáng)烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應(yīng)用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測設(shè)備。

電子捕獲ECD原理

電子捕獲檢測器（electron capture detector)，簡稱ECD。六氟化硫防護(hù)是保護(hù)工作人員的必備措施，不光是定期檢查SF6鋼瓶、高壓SF6設(shè)備還是穿著六氟化硫防護(hù)服都屬于六氟化硫防護(hù)的內(nèi)容。 電子捕獲檢測器也是一種離子化檢測器，它是一個有選擇性的高靈敏度的檢測器，它只對具有電負(fù)性的物質(zhì)，如含鹵素、硫、磷、氮的物質(zhì)有信號，物質(zhì)的電負(fù)性越強(qiáng)，也就是電子吸收系數(shù)越大，檢測器的靈敏度越高，而對電中性（無電負(fù)性）的物質(zhì)，如烷烴等則無信號。