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多線切割機
近年來,由于國家的重視,將極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題列入國家重大科技專項,另外,國內有關設備制造企業(yè)也看到了這個巨大的商機,大力投入人力物力開展艱苦的研制開發(fā),先以模仿為主,逐漸轉向自主創(chuàng)新,研制出有自身知識產(chǎn)權的多線切割機。市場上有專為材料研究人員而設計,用于脆性材料樣品的精密切割機。
鄭州元素工具技術有限公司專業(yè)從事環(huán)形金剛石線鋸的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。我們堅持技術為主、服務至上的經(jīng)營理念,幫助廣大客戶解決了輪胎、光伏硅、藍寶石、陶瓷,大理石等一些硬脆材料切割行業(yè)的諸多問題。在金剛石線切割領域,贏得了客戶的認可和信賴。歡迎各行業(yè)前來咨詢合作。IC器件的基礎性材料是半導體硅單晶材料,因此,世界各國對硅單晶材料的消耗量反映了一個國家的IC制造業(yè)的規(guī)模和工藝水平,同時各國硅材料生產(chǎn)及硅圓片生產(chǎn)水平也代表了一個國家IC工業(yè)的材料基礎的實力。
金鋼線切割專用設備
目前,行業(yè)內硅片生產(chǎn)企業(yè)進行金鋼線切割技術升級改造的方案主要有兩種:
1,,即在現(xiàn)有的傳統(tǒng)砂漿線設備基礎上,通過對設備內部軟硬件進行升級改造,從而滿足金鋼線切割工藝。
2.改造方案是直接采購金鋼線切割專用設備。
基于金剛線本身性能與普通鋼線的差異,金剛線切割對切片機的設備提出了更高的要求。因此現(xiàn)有的主流砂漿線切割設備在不進行改造的前提下,不能使用金剛線切割。
硅片切割設備
金剛線專用設備主要有進口專機和國產(chǎn)轉機,進口專用設備的報價基本在350萬到500萬之間,代表廠商有梅耶博格MB-288、NTC PV600DT等設備;要求配備不同的轉速和進給速度以及自動化程度和各種工裝夾具的設計等等。國產(chǎn)金鋼線專用設備報價基本在200-240萬之間,無論是國產(chǎn)專機還是進口專機,其前期投入均較大,且面臨原有設備閑置浪費的風險,因此,目前該方案主要適用于近期計劃新上硅片切割 設備廠家,如隆基、協(xié)鑫、阿特斯、比亞迪等近期新上的切片項目均采用的是金鋼線專用設備。
柔性切割
切割速度的選擇:
金剛石線鋸的切割屬于柔性切割,利用金剛石顆粒的硬度比被切割的材料堅硬,切割過程中不銹鋼線上鍍有的金剛石顆粒層與被切材料進行往復磨削,達到切割的目的。根據(jù)材料特性,一般硬度適中(莫氏硬度<9)的脆性材料切割速度可適當快一些,如硅、石墨、壓電陶瓷、玻璃等。這是因為這些材料遠沒有金剛石堅硬,當金剛石線與其進行磨削時會很容易將材料磨削成顆粒進而切割。當切割金屬或混合型材料或者難于切割的陶瓷材料,切割速度要盡可能慢。相比電鍍金剛石鋸線,樹脂涂層的剪切模量較低,鋸絲的扭切強度基本不變,更重要的是樹脂結合劑金剛石鋸絲制作工藝簡單,生產(chǎn)成本低,生產(chǎn)效率高。