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用途: 本設(shè)備可廣泛用于有色金屬銅、鋁合金和黑色金屬、普碳鋼、硅鋼、合金鋼等卷帶、盤(pán)管、線(xiàn)材等光亮退火。光亮退火爐具有生產(chǎn)、產(chǎn)品質(zhì)量好、低耗能、自動(dòng)操作、可靠等,是的先進(jìn)熱處理設(shè)備之一。 罩式爐由一個(gè)加熱罩、兩個(gè)爐座和閥架等組成:
加熱罩由鋼板卷成園形經(jīng)焊接加工而成,在罩身的上部有供吊鉤起吊換罩的位置,下部有三個(gè)支承爐罩的支承腳,底部裝有沙封刀,在加熱時(shí)使加熱罩能直接壓在爐內(nèi)罩的法蘭上使其達(dá)到密封的效果,另在兩個(gè)導(dǎo)向環(huán),以便加熱罩能方便準(zhǔn)確地吊放在爐座上。
退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的??梢约訜峋該诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。
退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專(zhuān)門(mén)為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
退火爐按熱源分類(lèi)主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、退火爐、煤氣退火爐等,其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室,直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。為了降低能耗,煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng),將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。
適用范圍:
1、黑色金屬鋼帶、鋼絲、鋼管件中間和成品光亮退火。
2、有色金屬銅帶、銅絲、銅管、銅棒中間和成品光亮退火。
3、標(biāo)準(zhǔn)件、鏈條、機(jī)械零部件等散件光亮退火。