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射頻磁控濺射性價比出眾「多圖」

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發(fā)布時間:2020-11-06 13:19  







磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)的特點

(1)離子轟擊滲擴(kuò)更快因為選用低溫等離子無心插柳,為滲劑分子和正離子的吸咐和滲人造就了高寬比活性的表層,提升了結(jié)晶中缺點的相對密度,比傳統(tǒng)式的汽體滲擴(kuò)技術(shù)性速率明顯增強(qiáng)。在一樣加工工藝標(biāo)準(zhǔn)下,滲層深度1在0.05二以內(nèi),比汽體滲擴(kuò)提升1倍。在較高溫度下,1h就能達(dá)lmm厚。磁控濺射設(shè)備的主要用途(1)各種功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。

(2)對鋼件表層改性材料成效顯著,工藝性能高,真空泵加溫易清除高溫冶煉廠時融解的汽體,并可根據(jù)滲人金屬材料更改PCB的機(jī)構(gòu)和構(gòu)造,使耐磨性能、耐蝕性、強(qiáng)度和斷裂韌性等眾多特性獲得改進(jìn)。而且因為清理功效,使金屬材料粗糙度減少,除去不銹鋼鈍化的殘渣和廢棄物,改進(jìn)了金屬材料的工藝性能。該設(shè)備的鍍膜室采用內(nèi)腔尺寸為6700mm×800mm×2060mm的箱式形狀,抽氣系統(tǒng)采用兩套K600擴(kuò)散泵機(jī)組,靶材采用德國Leybold公司生產(chǎn)的陶瓷靶,ITO薄膜基底是尺寸為1000mm×500mm×5mm的普通浮法玻璃。 

(3)加工工藝適應(yīng)能力強(qiáng),有利于解決方式繁雜的鋼件。在裝飾設(shè)計裝飾品上的運用:手機(jī)套、表帶、眼鏡框、五金配件、裝飾品等鍍一層薄薄的膜。傳統(tǒng)式的正離子注人技術(shù)性的致命性缺點是注人全過程是1個視野全過程,只能曝露在正離子搶口下的鋼件表層能夠被注人,針對鋼件中必須表層改性材料的內(nèi)表層或管溝表層等,離子束則很難達(dá)到,而且一回只有注一人鋼件,注人率低,機(jī)器設(shè)備繁雜價格昂貴

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鍍膜設(shè)備原理及工藝

主要濺射方式:

反應(yīng)濺射是在濺射的惰性氣體氣氛中,通入一定比例的反應(yīng)氣體,通常用作反應(yīng)氣體的主要是氧氣和氮氣。

直流濺射(DC Magnetron1 Sputtering)、射頻濺射(RF Magnetron1 Sputtering)、脈沖濺射(PulsedMagnetro n1 Sp uttering)和中頻濺射(Medium Fre2quency Magnetro2 n Sp uttering)

直流濺射方法用于被濺射材料為導(dǎo)電材料的濺射和反應(yīng)濺射鍍膜中,其工藝設(shè)備簡單,有較高的濺射速率。

中頻交流磁控濺射在單個陰極靶系統(tǒng)中,與脈沖磁控濺射有同樣的釋放電荷、防止打弧作用。中頻交流濺射技術(shù)還應(yīng)用于孿生靶(Twin2Mag)濺射系統(tǒng)中,中頻交流孿生靶濺射是將中頻交流電源的兩個輸出端,分別接到閉合磁場非平衡濺射雙靶的各自陰極上,因而在雙靶上分別獲得相位相反的交流電壓,一對磁控濺射靶則交替成為陰極和陽極。孿生靶濺射技術(shù)大大提高磁控濺射運行的穩(wěn)定性,可避免被毒化的靶面產(chǎn)生電荷積累,引起靶面電弧打火以及陽極消失的問題,濺射速率高,為化合物薄膜的工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)奠定基礎(chǔ)。如需了解更多磁控濺射鍍膜機(jī)的相關(guān)信息,歡迎關(guān)注創(chuàng)世威納網(wǎng)站或撥打圖片上的熱點電話,我司會為您提供專業(yè)、周到的服務(wù)。

連續(xù)式的磁控濺射生產(chǎn)線 總體上可以分為三個部分: 前處理, 濺射鍍膜, 后處理。

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磁控濺射鍍膜的特點

1、靶材粒子能量高(比熱蒸發(fā)高出1個數(shù)量級),所制備膜層更致密,與石英片結(jié)合力更高:

2、一般備有輔助離子源,可以用來清洗石英片,清洗效果好;

3、易于制備熔點高的材料;

4、制備合金膜層,可以保證膜層材料比例與靶材相同;

5、由于裝有中和器,也可以用來制備絕緣膜層。

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磁控濺射鍍膜機(jī)

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目前國內(nèi)窗膜行業(yè)的批發(fā)商及終端店很多人都吃過磁控鍍銀膜氧化的虧,產(chǎn)品賣出后幾個月,開始大面積氧化,需要賠償,甚至還失去了客戶。特別是NSN系列在13、14年出的問題特別多,搞得很多人談磁控膜色變的地步。而在15、16年后,問題得到解決。慢慢地就沒多少氧化問題出現(xiàn)了。這也讓很多剛接觸磁控膜的人以為磁控膜都是鍍銀的膜,一說磁控膜就問會不會氧化。其實大可不必?fù)?dān)心,大部分的側(cè)檔都不是銀的,請放心使用。且這兩年的技術(shù)進(jìn)步,國內(nèi)各磁控工廠也找到了解決氧化的方法。其實在玻璃鍍膜行業(yè),早就解決了氧化問題,我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時內(nèi)合成中空,不然就會氧化。當(dāng)時low-e與中空都是鍍膜廠做的,下邊玻璃加工廠根本無法介入,而現(xiàn)在鍍膜廠只需生產(chǎn)玻璃鍍膜原片。且玻璃原片爆露在空氣中可達(dá)6個月以上,都不會氧化。這樣中空玻璃,一些門窗廠,幕墻公司、小規(guī)模的玻璃深加工工廠,都可以生產(chǎn)low-e中空玻璃了,加上政府政策的支持與引導(dǎo),大大的加快了low-e玻璃的發(fā)展與普及。做窗膜磁控濺射鍍膜的應(yīng)多去看看玻璃行業(yè)的low-e鍍膜,多些交流。畢竟生產(chǎn)原理是一樣的東西,技術(shù)是相通的。很多東西是可以套用的,low-e鍍膜得到了規(guī)?;陌l(fā)展,技術(shù)工藝已非常成熟了。窗膜磁控濺射鍍膜終是要與玻璃配套的,如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發(fā)展,才是正道。就目前來說,僅從隔熱性能、保溫性能上與玻璃對抗,是不可能有成本上優(yōu)勢的。但都是鍍膜,如何做差異化,我目前也只是拋磚引玉,只有大家一起開動腦袋了。由于鍍膜室為立式容器,所以它具有臥式鍍膜機(jī)的一切優(yōu)點,又利于自重較大的、易碎的鍍件裝卡,更可方便地實現(xiàn)自動生產(chǎn)線,是替代傳統(tǒng)濕法水電鍍的更為理想的新一代真空鍍膜設(shè)備。










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