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對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
學(xué)微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高1效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
3、能源行業(yè) 大家對于能源行業(yè)的了解可能不是太多,但是,能源行業(yè)對于凈化工程的要求程度也非常高,比如說光伏發(fā)電、電池材料、再生能源以及其他的新能源等。
4、食品行業(yè) 為了保證食品的安全性,在生產(chǎn)食品時,衛(wèi)生情況需要格外注重,這時候,凈化車間工程就必不可少了,像飲料及飲用水、烘焙面點、肉制品、糧食豆制品、乳制品、水產(chǎn)漁業(yè)等食品的加工包裝都需要在潔凈室車間內(nèi)完成。