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擴散硅傳感元件原理及特點
壓阻效應本質就是應力的作用。 即在硅材料沿某一晶向施加一定的壓力時 , 使它們之間的能帶形狀發(fā)生變化 , 引起單晶體電導率的改變。 其變化值與所加的應力大小和方向有著一定的關系。 擴散硅應變元件就是利用壓阻效應制成的。
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擴散硅傳感器的工作原理
擴散硅傳感器選型作為一種較高的性能的一次壓力測量產品,可以很方便地進行放大處理,裝配成標準信號輸出的設備,廣泛應用于石油、化工、冶金、電力、航空、汽車、HVAC等行業(yè)的過程控制。
被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產生與TBP-1擴散硅無腔壓力傳感器介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
擴散硅壓力傳感器的優(yōu)點:
1、可進行二次補償:擴散硅壓力傳感器的靈敏度溫度系數(shù)和零點溫度系數(shù)能夠進行補償,即使成品芯體也可進行二次補償,所以傳感器的優(yōu)點容易發(fā)揮到很好。
2、信號輸出大:擴散硅壓力傳感器的輸出大是它很了不起的一個優(yōu)點,因為輸出大為后端的變送調理線路提供了很大的優(yōu)勢條件,分辨率高,靈敏度高。
3、體積小巧,利于安裝。
4、價格相對便宜,性價比高,這也是擴散硅壓力傳感器在我們國家能夠廣泛應用的一個原因。