管式爐的使用過(guò)程中要注意石英管的特性

   1、石英管軟化的軟化點(diǎn)為1270度，在1200度下使用時(shí)不應(yīng)超過(guò)3小時(shí)。

   2、管式爐一般不建議客戶通過(guò)氫氣，除了爆i炸濃度極限內(nèi)的非氫含量外，如果客戶需要使用爐內(nèi)濃度為氫氣的爆i炸濃度，請(qǐng)務(wù)必采取 安全措施，通過(guò)當(dāng)氣體是氣體時(shí)，不要站在爐管的兩端。 如果使用氫氣，請(qǐng)使用不銹鋼管。 由于不銹鋼的傳熱系數(shù)大于石英的傳熱系數(shù)，因此不銹鋼的兩端需要水冷。 否則，O形圈的溫度太高而無(wú)法密封。

   3、保持爐管內(nèi)部清潔衛(wèi)生。 與SiO2反應(yīng)的材料不能保留在爐管中。 燃燒材料時(shí)，為了延長(zhǎng)爐管的使用壽命，不要將材料直接放在爐管上并用船保持。 如下所示）。

真空氣氛管式爐使用氫氣作為工作氣體時(shí)

1、接通氫氣氣路，對(duì)各接頭處用肥皂水檢漏，確認(rèn)不漏氣。

2、確認(rèn)各閥門(mén)處于關(guān)閉狀態(tài)。

3、逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)旋鈕開(kāi)氫氣瓶主閥，順時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，緩慢打開(kāi)出口減壓閥，使出口氣壓在0.1MPa。

4、 接通機(jī)械泵電源，打開(kāi)管式爐出口閥和機(jī)械泵氣路上的兩個(gè)閥門(mén)，抽5分鐘。

5、關(guān)閉機(jī)械泵氣路上的兩個(gè)閥門(mén)，關(guān)閉管式爐出口閥門(mén)，關(guān)機(jī)械泵。

6、逆順時(shí)針打開(kāi)上氣路控制閥，使箭頭指向“開(kāi)”位置。

7、逆順時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕，使示數(shù)在20ml/min。

8、逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥，直至氣壓表讀數(shù)為零。

9、打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥，打開(kāi)氫氣氣路上的紅色出口閥門(mén)。

10、在通氫氣滿十分鐘后，才能開(kāi)始加熱管式爐。加熱前，逆時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕，使錐形瓶中氣泡出現(xiàn)的速度為2個(gè)/秒鐘。

如何選擇管式爐？

1、了解您的應(yīng)用程序

單區(qū)與多區(qū)：多區(qū)爐具有多個(gè)獨(dú)立控制的恒溫區(qū)，允許受控的溫度梯度或較長(zhǎng)的加熱區(qū)。

水平（標(biāo)準(zhǔn)）與垂直：垂直管爐提供較小的占地面積，可用于快速加熱/淬火過(guò)程

RTP（快速熱處理）：可滑動(dòng)的樣品保持器或加熱爐

高壓/真空爐：特殊設(shè)計(jì)的高溫高壓真空處理用不銹鋼或高溫合金管

旋轉(zhuǎn)管式爐：加熱過(guò)程中旋轉(zhuǎn)管以提高粉末加工/涂層均勻性

氣體處理能力：可用于氫氣處理和高溫腐蝕研究的特殊模型

多功能：基于管式爐的完整系統(tǒng)，如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生長(zhǎng)系統(tǒng)等

管式爐如何正確的操作呢？

1、為保持溫度區(qū)內(nèi)溫度一致，需要盡可能保證試驗(yàn)環(huán)境溫度及設(shè)備動(dòng)力電源波動(dòng)小，確保試驗(yàn)樣品不產(chǎn)生熱輻射并不吸收熱量從而保證試驗(yàn)區(qū)溫度平穩(wěn)。

2、經(jīng)常檢查煤氣噴嘴是否有火焰不齊或堵塞現(xiàn)象。并觀察火焰的高度、顏色和燃燒情況，火焰高度不超過(guò)輻射段高度的1/3。

3、觀察爐內(nèi)對(duì)流段，輻射段油氣管道有無(wú)燒紅破損或變形現(xiàn)象。爐內(nèi)保溫層有無(wú)損壞情況，如有異常及時(shí)處理。

4、檢查煤氣管道是否積水，如有積水應(yīng)及時(shí)處理。

5、檢查煤氣水封液面，保持其滿流退液管暢通。