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對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求:
1、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s
無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無塵室等級(jí)來建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。在制藥和生物工學(xué)工業(yè),無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性的病毒或細(xì)菌的污染之特性。在biotech市場,清洗真正地是一個(gè)很重要的企業(yè)。
在設(shè)計(jì)電子潔凈室的同時(shí),要確保所有建筑物的建筑面積或空間布局,所有建筑物都必須具有適當(dāng)?shù)撵`活性,整個(gè)區(qū)域的主體結(jié)構(gòu)不應(yīng)采用承載內(nèi)壁的方式。在電子潔凈室的設(shè)計(jì)中,必須通過攻擊來控制整個(gè)房間的高度。即使如此,它們的凈高也可以保持在100毫米的基本模量。在設(shè)計(jì)電子清潔廠房時(shí),應(yīng)根據(jù)整個(gè)廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性進(jìn)行設(shè)置,或適合于室內(nèi)設(shè)備與裝修水平的協(xié)調(diào)。