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圍繞塵埃來源和塵埃積聚對潔凈廠房保潔技術(shù)有如下要點:
1、頂棚:頂棚材料多采用表面光滑材料,如彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板,可以采用吸附力強(qiáng)的無塵抹布擦拭表面,并配合伸縮桿、老虎夾等工具使用,得心應(yīng)手。對凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。
2、墻面:墻面材料多采用表面光滑材料,如玻璃、彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板、不銹鋼板,可以采用吸附力強(qiáng)的無塵抹布、無塵抹水器擦拭表面,并配合玻璃刮、伸縮桿、老虎夾等工具使用,得心應(yīng)手。對凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。
無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。在制藥和生物工學(xué)工業(yè),無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性的病毒或細(xì)菌的污染之特性。在biotech市場,清洗真正地是一個很重要的企業(yè)。
微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢,而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將一開始的設(shè)計定型。
對于半導(dǎo)體工業(yè)而言,無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備,其對空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格,故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺車及重量的運(yùn)輸,而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品,當(dāng)我們看見地板磨損時,也就是使用期已太久,快破了,不僅會使得清靜度的降級,也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。