不相容的氣體在制備中的事故回顧與分析，以下是所知道的近年來發(fā)生的事故： 1996-中國臺灣，N2O/H2， 人員受傷，1997-加拿大，CO/Ai；1997-英國，CH4/Air ， 人員受傷；1997-南美，CH4/Air， 壓力表炸毀；1997-美國，4% H2/Air，隱患事故；2003-德國，N2O/CO，人員受傷；液態(tài)氣體價格速遞，至3月9日，上海液氧價格3月內(nèi)漲150元/T至750元/T，液ya至1500元/T，液氮680元/T。2004-法國，鹵代烴/Air ，隱患事故；2007-中國蘭州，CH4/Air， 人員受傷。以上事故中，多數(shù)是配制空氣中的可燃?xì)怏w，這類氣體大多用在化工廠、煤礦中環(huán)境氣體的檢測中，事故的原因或者是錯誤的操作；或者是不相容的氣體同時接入一個系統(tǒng)中，由于閥門漏氣產(chǎn)生倒灌；或者是濃度計算錯誤；或者是錯誤的充裝順序造成的。對氣體混合氣的事故分析，人們往往重視氣體的毒性而忽略了其可燃性?？諝庵锌扇夹詺怏w的制備經(jīng)常發(fā)生，因此制定嚴(yán)格的操作程序是非常重要的。

準(zhǔn)標(biāo)氣體潛在的危險分析

1、標(biāo)識不清或沒有警示標(biāo)識， 1）標(biāo)準(zhǔn)氣體的氣瓶應(yīng)該和純氣一樣貼警示標(biāo)簽。關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)氣體可燃性或氧化性的計算目前國內(nèi)尚無標(biāo)準(zhǔn)遵循。ISO 10156為如何計算標(biāo)準(zhǔn)氣體的可燃性和氧化性提供了可以遵循的方法。2）標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)和純氣一樣有成分和濃度標(biāo)簽。目前市場上大多數(shù)生產(chǎn)廠提供的標(biāo)準(zhǔn)氣體閥門出口螺紋沒有什么區(qū)別，全部采用右旋。3）不應(yīng)留有和氣體或濃度不符的標(biāo)簽，殘留的上次充裝的標(biāo)簽要清理干凈。

2、標(biāo)準(zhǔn)氣體的閥門出口螺紋應(yīng)遵循的規(guī)則， 標(biāo)準(zhǔn)氣體的閥門出口螺紋應(yīng)遵循：可燃標(biāo)準(zhǔn)氣體-左旋，不燃標(biāo)準(zhǔn)氣體-右旋；目前市場上大多數(shù)生產(chǎn)廠提供的標(biāo)準(zhǔn)氣體閥門出口螺紋沒有什么區(qū)別，全部采用右旋；標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)和純氣一樣，可燃標(biāo)準(zhǔn)氣體使用出口螺紋右旋的閥門，防止在生產(chǎn)過程中和客戶使用時錯接；變壓吸附是指利用吸附劑對不同氣體的吸附容量隨壓力的不同而有差異的特性,在吸附劑選擇吸附的條件下,加壓吸附混合物中的雜質(zhì)(或產(chǎn)品)組分,減壓解吸這些雜質(zhì)(或產(chǎn)品),而使吸附劑得到再生,以達(dá)到連續(xù)制取所需產(chǎn)品氣體的目的。

3、氣體接近可燃限或充裝過程中經(jīng)過可燃區(qū)間，沒有濃度和壓力限制作為標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)廠家，不僅僅提供給客戶的終產(chǎn)品濃度在可燃下限以下，而且在充裝過程中也要確保操作人員的安全，對于在充裝過程中經(jīng)過可燃區(qū)間的標(biāo)準(zhǔn)氣體，應(yīng)經(jīng)過嚴(yán)格計算控制充裝壓力和進(jìn)樣順序，制定嚴(yán)格的操作程序，操作者應(yīng)該接受培訓(xùn)，培訓(xùn)合格后才可充裝此類氣體。氧是自然界中含量較多的元素，分布很廣，占地殼中各元素總量的47%，占水成分的89%，占地殼中巖石，抗物成分的46。

在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量的要求也越來越高。線寬下對超純氮氣的要求，高純氮氣（PN2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。（N2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管或光亮退火（BA）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。它是一種五色無味的氣體，在空氣的含量為0．935％(按體積計算)，氬的沸點為－186℃，介于氧和氦的沸點之間。