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?精密切割
精密切割加工是制備半導體和光電晶體基片的主要加工工藝之一,在微電子、光電子器件的制造過程中占有很高的地位。而隨著微電子和光電子技術飛速發(fā)展,對半導體和光電晶體的切割加工提出更高要求。率、低成本、、窄切縫、小翹曲變形、低表面損傷、低碎片率、無環(huán)境污染等是目前半導體和光電晶體的切割加工的新趨勢。線切割設備的速度調整:切割速度的大小不僅與材料的性質有關,與切割面的大小也有關系,同種材料切割時,被切面較大的切割速度設置就要相對較小一些。
金剛石線切割機
金剛石線切割機常用的金剛石線有電鍍型和樹脂型兩種。
1、電鍍型:用電鍍的方法在金屬絲上沉積一層金屬(一般為鎳和鎳鈷合金),并在金屬內固結金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。金屬鍍層是結合劑,金剛石磨料則用于切削加工。
2,、樹脂型:樹脂金剛石線是在原有鍍銅超細鋼絲線上噴涂一種增強耐磨合金、特種樹脂和金剛石超微粉的切割線,主要應用于單晶硅、多晶硅、藍寶石、水晶、陶瓷和半導體材料的切割上,能取代目前碳化硅砂漿法,解決了環(huán)境污染。
精密切割機
金剛石線切割機的選擇:
當切割樣品較小,切割深度較小時通??蛇x用小型金剛石線切割機。
市場上有專為材料研究人員而設計,用于脆性材料樣品的精密切割機??捎糜诟鞣N不同硬度材料的切割,特別是適用于脆性、易解理的晶體切割;操作簡便,加工質量優(yōu)良;設備小巧,無需占用大面積位置。
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?線切割設備
線切割設備的速度調整:
切割速度的大小不僅與材料的性質有關,與切割面的大小也有關系,同種材料切割時,被切面較大的切割速度設置就要相對較小一些。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面,速度太快切割后的樣品表面會有明顯的切割線痕跡,因此當要求切斷試樣同時還要有很好的面型(平面度、平行度、表面粗糙度)時一般選用較慢的切割速度。隨著燒結釹鐵硼日本,德國,歐盟等在專利技術的解凍,我國各大燒結廠家的協(xié)同努力,燒結釹鐵硼產品品位大幅提高。