廣州帕納光電科技有限公司----安捷倫渦輪分子泵維修；

牽引分子泵的優(yōu)點是啟動時間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障，而且制造困難，實際上很少應(yīng)用。1、不能在前級泵工作時（前級管路接通）和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。后來對牽引分子泵進行了改進，出現(xiàn)了渦輪分子泵。

當(dāng)分子泵出現(xiàn)故障無法使用時，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動充滿空氣后更換備用分子泵；

 當(dāng)分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作；

 當(dāng)分子泵發(fā)生故障時，必須根據(jù)故障提示進行處理。

采用全新設(shè)計和制造方法所推出的款真空產(chǎn)品，它延續(xù)了前代產(chǎn)品所具有的超高壓縮比、出色的極限真空、非常好的前級耐壓和無油等特點；更結(jié)合了突破性技術(shù)，擁有的質(zhì)量和可靠性的同時，它緊湊的設(shè)計更包含了眾多讓人眼前一亮的全新功能。

現(xiàn)代分子泵的基本結(jié)構(gòu)基本定型為為臥式和立式兩種。臥式分子泵具有抽氣時轉(zhuǎn)子受力均勻，軸承定位受力狀態(tài)好，使用壽命長，軸承更換過程中轉(zhuǎn)子位置不動，維修方便等特點。立式分子泵的裝配工藝要比臥式分子泵簡單，所以近些年立式分子泵的發(fā)展速度很快。

水泵性能的技術(shù)參數(shù)有流量、吸程、揚程、軸功率、水功率、效率等；根據(jù)不同的工作原理可分為容積水泵、葉片泵等類型。容積泵是利用其工作室容積的變化來傳遞能量；葉片泵是利用回轉(zhuǎn)葉片與水的相互作用來傳遞能量，有離心泵、軸流泵和混流泵等類型。

油封式旋片泵（即油泵）

極限真空能到達10-3mbar，但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問題，如果沒有控制返流的安全閥，或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會引起油污染，從而導(dǎo)致分子泵提供的真空環(huán)境里會存在一定含量的碳?xì)浠衔?，影響使用；過大的軸承間隙，軸瓦松動，油內(nèi)有雜質(zhì)，油質(zhì)(粘度、溫度)不良，因空氣或工藝液體使油起泡，潤滑不良，軸承損壞處理方法：檢查后，采取相應(yīng)措施，如調(diào)整軸承間隙，清除油中雜質(zhì)，更換新油。并且油泵操作溫度較高，如果散熱效果較差，會直接影響客戶的測試結(jié)果；另外還需要定時換油，總體來說維護成本高，能耗大。