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實驗室氣體的危險性
1.有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會對工作人員及儀器設(shè)備造成傷害;
2.多種氣體在同一個環(huán)境下使用,如果有兩種會發(fā)生燃燒或爆1炸等強烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時泄漏,就可能對工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害;
3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。
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氦質(zhì)譜檢漏儀
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢漏儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢漏儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀1新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也極大地1推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。在測定放1射性物質(zhì)時,使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0。
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小流量氣體凈化系統(tǒng)
高純供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣,應(yīng)用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質(zhì)譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導(dǎo)體工藝設(shè)備提供超高純的工藝氣體。漏孔堵塞現(xiàn)象:指由于真空檢漏作業(yè)操作不當(dāng)導(dǎo)致塵埃或液體堵塞漏孔,檢漏時似乎不漏氣,但一經(jīng)排氣就會出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。
氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標(biāo)達(dá)到各項雜質(zhì)含量小于1ppb的世界先進(jìn)水平。
氣體配比儀采用質(zhì)量流量計,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。
高純氣體的輸送管路系統(tǒng)
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高,對氣體中雜質(zhì)和露1點要求極為嚴(yán)格,需要達(dá)到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在最1佳工作狀態(tài)下能檢出的最1小漏率。