氮?dú)狻?strong>高純氮?dú)?/strong>使用操作時(shí)要注意什么：

拆卸、檢修有氮封的容器蓋板(盲板)、閥門時(shí)，必須先關(guān)閉進(jìn)氮閥門，必要時(shí)加板隔斷。作業(yè)人員要進(jìn)入氮封的設(shè)備，或探入氮封設(shè)備前，必須在辦理作業(yè)許可證的同時(shí)，進(jìn)行第二階段風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估并經(jīng)額外授權(quán)方可作業(yè).進(jìn)入人員必須佩帶隔離式空氣防毒面具，二人協(xié)同進(jìn)行，設(shè)備人孔口外要有專人監(jiān)護(hù)，未經(jīng)批準(zhǔn)，嚴(yán)禁進(jìn)入和探入。

在打開經(jīng)過氮?dú)獯祾咧脫Q工藝處理的入孔或其它開口處，為防止未經(jīng)許可隨意進(jìn)入可能存在缺氧環(huán)境的受限空間，作業(yè)過程中人員全部離開后，監(jiān)護(hù)人員及時(shí)恢復(fù)設(shè)置。

在使用液氮裝軸承時(shí)提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。戴防寒手套，防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。

電子氣體的分類

一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。目前電子消費(fèi)品的種類繁多以及升級(jí)換代日趨頻繁，同類產(chǎn)品的不同制造規(guī)模、不同級(jí)別檔次的生產(chǎn)工廠和科研機(jī)構(gòu)共存。

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括等），以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括，代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括，光纖（氣體種類包括硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。上述工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場(chǎng)制氣或工業(yè)園區(qū)管道集中供應(yīng)方式，一個(gè)年產(chǎn)萬片的超大規(guī)模集成電路廠高純氮?dú)獾男枨蟪^，發(fā)光二極管的磊晶工序線和硅外延生產(chǎn)線的氫氣需求超過。除了普通鋼瓶（及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括鋼瓶集裝格罐等。

如何保證電子氣體的安全儲(chǔ)存

如何保證電子氣體的安全儲(chǔ)存、使用操作，系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征安全設(shè)計(jì)，在眾多的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范如，等都有很詳細(xì)的規(guī)定，目前中國(guó)國(guó)內(nèi)也正在起草針對(duì)電子特種氣體的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。通常而言，會(huì)根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性，將氣體房分成可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物總量控制等等。針對(duì)輸送系統(tǒng)，特別是系統(tǒng)，因總量較大，應(yīng)釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動(dòng)噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng)，需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

使用電子氣體的工廠抽風(fēng)系統(tǒng)，也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成了普通排風(fēng)系統(tǒng)（，酸性排風(fēng)系統(tǒng)（，溶劑排風(fēng)系統(tǒng)（和氨氣排風(fēng)系統(tǒng)（。換鋼瓶時(shí)的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動(dòng)軌道焊接，經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測(cè)試。對(duì)于毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等，安全輸送系統(tǒng)（正在被廣泛使用。其鋼瓶?jī)?nèi)采用負(fù)壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測(cè)系統(tǒng)（是全廠生命安全系統(tǒng)（的重要組成部分。對(duì)于偵測(cè)器的要求，除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。

高純氣體怎么做成零點(diǎn)氣體

高純氣體用作零點(diǎn)氣的制作完全類似于氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制作，但操作過程可以簡(jiǎn)化。通常使用的稀釋氣體中的某種或某類雜質(zhì)含量低于分析方法所采用測(cè)量?jī)x器的小檢出量，則此種稀釋氣就可為“零點(diǎn)”氣使用。

零點(diǎn)氣體是用于在給定的含量范圍內(nèi)，用給定的分析方法去校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)工作曲線的零點(diǎn)。當(dāng)其作為被測(cè)樣品進(jìn)入檢測(cè)儀表后，在儀器選下的測(cè)量范圍內(nèi)，僅呈現(xiàn)儀表零點(diǎn)的響應(yīng)值，而不會(huì)產(chǎn)生偏離預(yù)置零點(diǎn)以外的響應(yīng)信號(hào)。對(duì)不同類型的檢測(cè)方法和不同燈頭型的檢測(cè)儀器，zui低檢測(cè)限會(huì)對(duì)零點(diǎn)氣體提出不同的要求。

如用在線分析儀器測(cè)量CO2高純氣體中的總烴含量時(shí)，可采用氣相色譜法用氫火焰離子化檢測(cè)器（FID）檢測(cè)，由于FID存在強(qiáng)烈的基體效應(yīng)，當(dāng)采用不同基體的零點(diǎn)氣校正儀表時(shí)，會(huì)導(dǎo)到致不可忽略的誤差。