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工業(yè)氣體的危害
工業(yè)氣體在工業(yè)中的應(yīng)用十分廣泛,但在具體的使用中還要注意它的各方面的特性。工業(yè)氣體的特點(diǎn)是溫和,但同時也具有殺傷力,而工業(yè)氣體中的不燃?xì)怏w同樣也具有很強(qiáng)的殺傷力。一般具有危害性的工業(yè)氣體可以分為以下幾種,現(xiàn)在總結(jié)給大家!
1、氣體:具有極強(qiáng)毒性和侵入人體能引起甚至,包括、氨氣等;
2、氣體:液態(tài)氣體具有燒性和化學(xué)危險性,并有一定的毒性,包括氫氣、乙炔等;
3、助燃?xì)怏w:具有助燃能力,但自身不燃燒,存在擴(kuò)大火災(zāi)的危害性,包括氧氣等;
4、不燃?xì)怏w:對人具有窒息性,性質(zhì)穩(wěn)定,不燃燒,包括氮?dú)狻⒍趸己蜌鍤獾取?br />
特種氣體輸送管道系統(tǒng)的施工管理
超凈的氣體輸送管道系統(tǒng),是指具有超凈化要求的輸送高純氣體、摻雜氣體的管道系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于集成電路器件生產(chǎn)、太陽能光伏電池生產(chǎn)PDF顯示器面板生產(chǎn)等微電子領(lǐng)域,特種氣體指出,該系統(tǒng)輸送的氣體主要有高純大宗氣體(高純氧、高純氫、高純氦、高純氫等氣體)、特氣(、磷烷、烷、、等工藝氣體),以上氣體在下文中簡稱“超凈氣體”。電子氣體的應(yīng)用及類別!
自從半導(dǎo)體問世以來,高純度電子氣體的可靠供應(yīng)在電子行業(yè)是至關(guān)重要的。首先通過不同的氣體流把雜質(zhì)原子引入到半導(dǎo)體材料來生產(chǎn)個別半導(dǎo)體元件,然后加以混合,再送進(jìn)名為外延生長過程的反應(yīng)容器中。
在制造集成電路的過程中,超過30種不同的電子氣體被用于蝕刻沉積氧化摻雜,和惰性保護(hù)的應(yīng)用?,F(xiàn)代晶片電路的嚴(yán)格要求規(guī)定,百萬份數(shù)十億份甚至萬億份的水平的微量雜質(zhì)將導(dǎo)致重大的缺陷,并由于高廢品率導(dǎo)致成本增加。
一個典型的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的輔助設(shè)施提供包括以下幾類電子氣體:
?氮?dú)馔ǔ@梅蛛x空氣在現(xiàn)場生產(chǎn)。它被廣泛使用在許多過程中作為提供惰性環(huán)境或一個過程完成后的反應(yīng)氣體。
?氧氣也可以在現(xiàn)場生產(chǎn)或以低溫液體交付。它使用于把硅氧化-是所有半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的過程之一。
?氬通常以低溫液體交付,并用于為金屬的濺射沉積提供惰性環(huán)境,因為氮?dú)獾姆磻?yīng)性高而導(dǎo)致形成金屬氮化物。
?氫氣可以在現(xiàn)場生產(chǎn)、以低溫液體或壓縮氣體交付-這取決于消耗速率。它是用于為金屬膜進(jìn)行退火時提供一種還原環(huán)境。