廣州蘇盈電子科技-二氧化碳MEMS流量測量

氣體分子與加熱壁接觸完成熱傳導(dǎo)而帶走探針上的熱量。由于不同氣體分子帶走熱量的能力不一樣，所以在已知?dú)怏w分子導(dǎo)熱能力的情況下（Cp值已知），可以通過測量耗散的電功率直接獲得流過的氣體分子數(shù)（氣體分子數(shù)也就是質(zhì)量數(shù)），從而獲得氣體的質(zhì)量流量。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的起源是來自于熱線式風(fēng)速計(jì)。

測小流量氣體流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)裝置的研制能夠滿足對(duì)小流量氣體流量計(jì)如浮子、皂膜等的測量要求，也可用于家用膜式燃?xì)獗淼氖褂弥袡z查，該裝置操作簡單、快捷，易于直觀的得到測量結(jié)果。標(biāo)準(zhǔn)表法氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置是國際上普遍使用的一種氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置。

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熱式質(zhì)量流量計(jì)在環(huán)境保護(hù)和工業(yè)中應(yīng)用發(fā)展也比較多，熱式質(zhì)量流量計(jì)一般在測量氣體的時(shí)候必須是干燥的氣體，不能含有濕氣，流體的可能產(chǎn)生的沉積，結(jié)垢以及凝結(jié)物均將影響儀表的性能熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用傳熱原理檢測流量的儀表，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)有一體式和插入式兩種規(guī)格。

適合測量水、油、多種液體、蒸汽、空氣、、煤氣、、有機(jī)氣體、油渣等。

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我國是以煤為主要能源的國家，全國有上百萬個(gè)煙囪不停地向大氣排放煙氣。煙氣排放控制是污染的重要項(xiàng)目，每個(gè)煙囪必須是安裝煙氣分析儀表和流量計(jì)，組成連櫝排放監(jiān)視系統(tǒng)。能源計(jì)量是科學(xué)管理能源，實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗，提高經(jīng)濟(jì)效益的重要手段。流量儀表是能源計(jì)量儀表的重要組成部分，水、人工燃?xì)?、、蒸汽和油品這些常用的能源都使用著數(shù)量極其龐大的流量計(jì)，它們是能源管理和經(jīng)濟(jì)核算不可缺少的工具。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用傳熱原理檢測流量的儀表，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)有一體式和插入式兩種規(guī)格。

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熱力流量計(jì)是根據(jù)熱擴(kuò)散原理設(shè)計(jì)的流量儀表，即利用液體流經(jīng)發(fā)熱體時(shí)，發(fā)熱體的熱量散失與流體流量呈一定比例關(guān)系.該系列流量計(jì)的傳感器有兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)級(jí)RTD，一種用來測量流體溫度,

體時(shí)流量傳感器則寧可選擇水平安裝，因?yàn)檫@樣便于做到調(diào)零的零偏置。

浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安裝姿勢影響。然而在低流速測量時(shí)因受管道內(nèi)氣體對(duì)流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。

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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)大都采用開路的負(fù)壓空氣標(biāo)定，然后修正到高壓力工況，或者修正到其他氣體，比如氣、二氧化碳、氧氣、氫氣、氨氣等等。修正標(biāo)定必然導(dǎo)致測量精度不能保證，低壓標(biāo)定后的表應(yīng)用在高壓工況，空氣介質(zhì)標(biāo)定后的表應(yīng)用在其他氣體介質(zhì)，測量精度無法保證。熱式流量儀表用得有兩類，流體計(jì)量是研究物質(zhì)量變的科學(xué)，質(zhì)量互變規(guī)律是事物發(fā)展的基本規(guī)律，因此其測量對(duì)象已不局限于傳統(tǒng)意義上的液體管道，凡需掌握量變的地方，都存在流量測量的問題。

都采用了極為龐大的流量計(jì)，在能源管理和經(jīng)濟(jì)核算中起著舉足輕重的作用。

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對(duì)小流量而言，儀表會(huì)給被測氣體帶來相當(dāng)熱量。

對(duì)于熱分布式TMF，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對(duì)細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點(diǎn)，一般情況下不能使用。使用空氣流量計(jì)時(shí)，通過過流式流量計(jì)推動(dòng)渦輪葉片轉(zhuǎn)動(dòng)。葉片轉(zhuǎn)速與流過空氣流量計(jì)的氣量成正比。流量計(jì)口安裝有一特殊設(shè)計(jì)的導(dǎo)流架，隨著流量的增大，對(duì)進(jìn)入流量計(jì)的氣流進(jìn)行加速。采用導(dǎo)向架可以消除渦流、非對(duì)稱流等潛在流體擾動(dòng)。同時(shí)，推動(dòng)渦輪葉片的動(dòng)力增加。在允許的誤差范圍內(nèi)，確保高精度測量，即使在小流量條件下也能測量。

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利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布式流量計(jì)曾稱量熱式;2)利用熱消散（冷卻）效應(yīng)的金氏定律。又由于結(jié)構(gòu)上檢測元件伸入測量管內(nèi)，也稱浸入型或侵入型有些在使用時(shí)從管外插入工藝管內(nèi)的儀表稱作插入式。

TMF無活動(dòng)部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很??；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

TMF使用性能相對(duì)可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計(jì)算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小。

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熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可,

熱式質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)慢。

被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測量值會(huì)有較大變化而產(chǎn)生誤差。

對(duì)小流量而言，儀表會(huì)給被測氣體帶來相當(dāng)熱量。

對(duì)于熱分布式TMF，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對(duì)細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點(diǎn)，一般情況下不能使用。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應(yīng)用于半導(dǎo)工業(yè)外延擴(kuò)散、石油化工微型反應(yīng)裝置、鍍膜工藝、光導(dǎo)纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃?xì)獾葰怏w流量控制，適用的工業(yè)管徑范圍寬，可達(dá)3m，輸出信號(hào)與被測流量線性，精度高，可測量電導(dǎo)率≥1μs/cm的酸、堿、鹽溶液、水、污水、腐蝕性液體和泥漿、礦漿的流體流量。但是空氣流量計(jì)不能測量氣體、蒸汽和純凈水的流量。