鍍燈具鋁膜。因為是金屬膜，當然是直流磁控濺射好。速度快。中頻適合鍍化合物膜。如果選離子源，霍爾離子源就夠了。但要注意燈具大小。一般霍爾離子源是圓形，離子源覆蓋的面積有限。你一定要用離子束將工件全部覆蓋到。若普通霍爾離子源太小，可考慮用陽極層離子源。離子源難起輝的一個原因是磁場太弱激發(fā)不起等離子體。離子源的種類雖多，但基本上是先產生等離子體，然后從等離子體中抽出氣體離子并加速成離子束，讓后視需要注入電子中和離子流。

       由于Parylene涂層材料是在真空下沉積而成，派瑞林絕緣涂層，是裂解的分子重新聚合形成的防護材料，屬分子級的生長，生成的涂層致密穩(wěn)定、摩擦系數小，且隨著涂層生長厚度的增加，摩擦系數減小。在厚度為0.5μm時，摩擦系數僅相當于硅涂覆層的一半，厚度為2μm時的摩擦系數，增城派瑞林，僅相當于0.5μm厚涂層摩擦系數的1 /4。

       Parylene 材料有良好的物理和機械性能，其和常用涂層的物理和機械性能比較如表 1 所示，從表中可以看出，其抗拉強度、線膨脹系數、硬度數值等參數相對穩(wěn)定，變化范圍小，摩擦系數較小。 

       釹鐵硼稀土磁性材料是一種問世不久的新型強磁材料。近年來在小型馬達、汽車電子，派瑞林薄膜，工具、揚聲器、電力工具等方面應用發(fā)展很快。但釹鐵硼稀土磁性材料弱點是容易被空氣中的水分及氧氣所腐蝕，因此必須有一個的防護涂層釹鐵硼稀土磁性材料才有使用價值。

       Parylene涂層不僅有優(yōu)異的介電性能、低的介質損耗和高的介電強度，同時具有優(yōu)良的機械性能和耐輻射性能。Parylene如此高的介電強度主要歸功于Parylene能形成連續(xù)無缺陷和無其它填充物的薄膜。

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