高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高，對氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格，需要達(dá)到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。

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高純供氣系統(tǒng)

集中供氣系統(tǒng)需要規(guī)劃設(shè)計(jì)一個(gè)獨(dú)立的氣瓶室，根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的布局和用氣情況在實(shí)驗(yàn)室的每層或幾層設(shè)置一個(gè)氣瓶室，也可在實(shí)驗(yàn)室外部設(shè)計(jì)一個(gè)為整個(gè)實(shí)驗(yàn)室供氣的氣瓶室，鋼瓶儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)合理布置，保持可燃性容器和助燃性容器間的安全間距。氣瓶室墻宜采用實(shí)體結(jié)構(gòu)，門應(yīng)設(shè)計(jì)為防爆門，安裝防爆燈以及防爆風(fēng)機(jī)，萬一發(fā)生事故可減少實(shí)驗(yàn)室區(qū)域的破壞性。存放鋼瓶屋內(nèi)不宜吊頂。氣瓶室內(nèi)還應(yīng)設(shè)有氣體泄漏、低壓換氣報(bào)警設(shè)施，及排風(fēng)裝置，同時(shí)設(shè)計(jì)時(shí)還應(yīng)考慮防雷、防靜電、空調(diào)設(shè)備等設(shè)施。為了保證氣體純度和壓力的穩(wěn)定性，需采用多級減壓方式供氣，宜設(shè)置氣路吹掃、排空、雜質(zhì)過濾、水分和油汽凈化等裝置，有條件的可采用雙氣源自動(dòng)切換模式供氣。

高純供氣系統(tǒng)

高純氮?dú)饧兓b置以深冷法制氮、PSA變壓吸附制氮，氮膜分離制氮的普通氮?dú)鉃樵?，?jīng)過加氫催化除氧，冷凝、吸附二級干燥，過濾，除去氮?dú)庵械碾s質(zhì)氧、二氧化碳、水份和塵埃，獲得高純度的氮?dú)?。用戶對純氮中的含氫量有特殊要求時(shí)，我們可以通過工藝手段來控制氮?dú)庵械臍錃夂?。若原料氮的氧含量超過0.1%時(shí)，高純供氣報(bào)價(jià)，則可用加氫除氧和除氫的方式來獲得無氫高純氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，則采用化學(xué)除氧工藝方法。

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