氣凈化設(shè)備

第I種

直接脫氧法。就是使用活性金屬、催化劑與氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng)，消化掉氣中的氧氣，從而達(dá)到脫氧的目的，經(jīng)過分子篩吸收掉氣中的水份，使氣的含水量小于1ppm。

第II種

是采用吸氣劑。在一定溫度下，吸氣劑可吸收氮、氫、氧、、二氧化碳、等氣體經(jīng)吸收處理后，氣的純度可達(dá)到6個九，這種工藝生產(chǎn)出來的高純氣體適用于各類儀器儀表適用要求。

第I種方法設(shè)備投資小，第II種方法設(shè)備純化純度高但投資相對較大。

電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法

特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

3、外向檢漏法(吸法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應(yīng)采用吸檢查漏點的方法檢漏，高純供氣哪里有，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

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高純供氣系統(tǒng)

供氣系統(tǒng)的連接應(yīng)符合 GB 50236－2011《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范》等標(biāo)準(zhǔn)的要求［11］。管道的連接應(yīng)采用法蘭連接或焊接等方法，氫氣管道不應(yīng)使用絲扣連接; 高純氣體管道應(yīng)采用承插焊接; 氣體管道與設(shè)備、閥門與管道或管件的連接應(yīng)采用絲扣或法蘭連接; 絲扣接頭中的填料應(yīng)采用聚四氟乙烯膜、一氧化鉛、甘油調(diào)合填料; 對于高純氣體管道與閥件的連接應(yīng)采用高壓雙卡套接頭連接。

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