派瑞林(Parylene)中文名為聚對(duì)二，是一種高分子熱可塑性聚合體，由單體對(duì)二在真空狀態(tài)下均勻分布在被涂裝物的縫隙和表層然后聚合。運(yùn)用氣相沉積的處理技術(shù)，可以于物體表面均勻涂覆形成膜厚，是一種保護(hù)性高分子材料。派瑞林(Parylene)它可在真空下氣相沉積，派瑞林(Parylene)活性分子的良好穿透力能在元件內(nèi)部、底部，周圍形成無，parylene 鍍膜，厚度均勻的透明絕緣涂層，給元件提供一個(gè)完整的防護(hù)涂層，抵御酸堿、鹽霧、霉菌及各種腐蝕性氣件的侵害，這種室溫沉積制備的0.1～100μm薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，parylene 涂層，是當(dāng)代有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。

可耐5000V且可隨厚度增加而持續(xù)提高

絕緣性能不會(huì)受環(huán)境溫度和濕度的影響；

Parylene 的介電常數(shù)和介電損耗均非常低且不受吸潮的影響；

Parylene 的高純度、表面憎水性及不存在任何痕量的離子污染又保證了極高的體積電阻率和表面電阻率；

極低的高頻損耗，特別適合超高頻器件。

用環(huán)氧樹脂材料進(jìn)行電泳涂敷，但電泳涂敷時(shí)工件表面必須有一掛點(diǎn)，掛點(diǎn)的修補(bǔ)不僅費(fèi)工費(fèi)時(shí)，而且質(zhì)量難以保證用。另外當(dāng)繞線器件很小時(shí)，parylene，使用傳統(tǒng)膠帶做絕緣就很困難。用Parylene涂層能夠有效此問題并具有大量生產(chǎn)降低成本的優(yōu)勢(shì) 。

　　原子層沉積是通過將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)器并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法（技術(shù)）。當(dāng)前驅(qū)體達(dá)到沉積基體表面，parylene 耐溫，它們會(huì)在其表面化學(xué)吸附并發(fā)生表面反應(yīng)。在前驅(qū)體脈沖之間需要用惰性氣體對(duì)原子層沉積反應(yīng)器進(jìn)行清洗。由此可知沉積反應(yīng)前驅(qū)體物質(zhì)能否在被沉積材料表面化學(xué)吸附是實(shí)現(xiàn)原子層沉積的關(guān)鍵。氣相物質(zhì)在基體材料的表面吸附特征可以看出，任何氣相物質(zhì)在材料表面都可以進(jìn)行物理吸附，但是要實(shí)現(xiàn)在材料表面的化學(xué)吸附必須具有一定的活化能，因此能否實(shí)現(xiàn)原子層沉積，選擇合適的反應(yīng)前驅(qū)體物質(zhì)是很重要的。

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