半導(dǎo)體真空腔體的應(yīng)用

中國(guó)半導(dǎo)體真空腔體市場(chǎng)近幾年快速發(fā)展，越來(lái)越多的公司也表達(dá)了進(jìn)入芯片領(lǐng)域的興趣.以存儲(chǔ)芯片為例，以前中國(guó)國(guó)內(nèi)存儲(chǔ)芯片完全靠進(jìn)口，今年福建晉華集成電路的內(nèi)存生產(chǎn)線有望投產(chǎn)，另外長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技公司也在建設(shè)內(nèi)存和閃存芯片生產(chǎn)線.格力、康佳等傳統(tǒng)家電企業(yè)也表示，將進(jìn)入芯片領(lǐng)域.

據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)報(bào)告顯示，中國(guó)目前正在天津、西安、北京、上海等16個(gè)地區(qū)打造25個(gè)FAB建設(shè)項(xiàng)目，福建晉華集成電路、長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技公司等企業(yè)技術(shù)水平雖不及韓國(guó)，但均已投入芯片量產(chǎn).報(bào)告預(yù)測(cè)，今年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模有望達(dá)118億美元，實(shí)現(xiàn)同比43.9%的增長(zhǎng)，并且明年市場(chǎng)規(guī)模有望擴(kuò)大至173億美元，增長(zhǎng)46.6%，成為大市場(chǎng).而同一時(shí)期內(nèi)韓國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模從179.6億美元減少至163億美元，減幅為9.2%.中國(guó)超越韓國(guó)成為很大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng).

真空腔體——實(shí)漏和虛漏

并非所有的抽氣時(shí)間延長(zhǎng)、極限壓力下降都是因?yàn)樾孤?，在使用檢漏儀檢漏前，有必要了解一下如何判斷真空設(shè)備是否真的發(fā)生了泄漏。

真空腔室的內(nèi)壁或腔室內(nèi)壁附著的污染物，在真空下持續(xù)的釋放出氣體，這種現(xiàn)象被稱為放氣。當(dāng)真空腔室內(nèi)部存在死空間，并且該死空間通過一個(gè)狹長(zhǎng)的通道與腔室內(nèi)部連通時(shí)，死空間內(nèi)的氣體在真空下也會(huì)緩慢的釋放出來(lái)，形成類似于放氣或泄漏的現(xiàn)象，通常把這種現(xiàn)象叫做虛漏。真實(shí)的泄漏可以通過檢漏找到，放氣也可以通過清洗真空腔體內(nèi)表面而解決，而虛漏一旦產(chǎn)生，很難被發(fā)現(xiàn)，需要在設(shè)計(jì)和制造時(shí)盡量避免容易產(chǎn)生虛漏的結(jié)構(gòu)或工藝，如上圖中的螺紋連接（一定要用的話可以使用空心螺栓），很長(zhǎng)的狹縫或毛細(xì)管，非標(biāo)真空腔體加工生產(chǎn)廠家，兩側(cè)滿焊的腔體焊接（較厚的殼體建議真空側(cè)滿焊大氣側(cè)斷續(xù)焊）等等。

真空腔體

維修真空設(shè)備的要點(diǎn)是判斷故障。真空抽不上去，真空腔體加工，原因可能有幾個(gè)，一定要搞清楚是什么原因，是真空機(jī)組的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之。這時(shí)，應(yīng)該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候，關(guān)閉高壓閥，如真空計(jì)指針很快下降，大型真空腔體加工公司，多數(shù)情況是真空室漏了，大型真空腔體加工品牌，這時(shí)候應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門的問題上，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴(kuò)散泵油被污染了，氧化了等；或是前級(jí)管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。

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