三軸滑臺(tái)由底座、滑塊、導(dǎo)軌、螺旋齒輪等組成。底座固定在地面上，滑塊通過(guò)導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)在底座上往X方向和Y方向移動(dòng)，Z方向需要通過(guò)螺旋齒輪控制移動(dòng)。

三軸滑臺(tái)應(yīng)用的是數(shù)控系統(tǒng)，可達(dá)到高精度的定位，位置傳感器檢測(cè)滑動(dòng)位置，然后系統(tǒng)通過(guò)接收到的位置傳感器傳輸?shù)臄?shù)據(jù)控制定位。

三軸滑臺(tái)控制方式有兩種，即自動(dòng)和手動(dòng)。自動(dòng)控制需要在計(jì)算機(jī)和數(shù)控系統(tǒng)輸入運(yùn)動(dòng)軌跡參數(shù)，然后就會(huì)根據(jù)設(shè)置的參數(shù)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，但操作人員要有編程方面的技能及經(jīng)驗(yàn)；手動(dòng)控制則需要工人通過(guò)操作桿或按鈕來(lái)控制滑臺(tái)的移動(dòng)，但手動(dòng)控制對(duì)操作經(jīng)驗(yàn)技術(shù)要求較高，否則容易出現(xiàn)誤差。

三軸滑臺(tái)通常在電子制造、航空航天、工業(yè)自動(dòng)化等行業(yè)使用。