渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域

渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備?？茖W(xué)儀器行業(yè)：同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器。機(jī)械設(shè)備行業(yè)：材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備。醫(yī)院設(shè)備行業(yè)：透析機(jī)、生物制備與藥品制備。包裝行業(yè)：食品、藥品、生物制品包裝設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無油真空系統(tǒng)很好的配置。

渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

渦旋真空泵主要由5 個(gè)部件組成：

（1）動(dòng)靜渦旋盤副與基座；一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成的一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交錯(cuò)，渦旋真空泵多少錢， 兩者之間保證180°相位差組成的一對(duì)渦旋盤副機(jī)構(gòu)。

（2）曲軸：保證動(dòng)渦旋盤繞靜渦旋盤轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。

（3）密封件：保證動(dòng)、靜盤的端面齒頂密封等的密封裝置。

（4） 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)：保證動(dòng)、靜盤180°相位差的機(jī)構(gòu)。

（5）電機(jī)：輸出約1500r/min的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。

它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤之間、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低。采用空氣冷卻，無需水冷。

渦旋真空泵組成與工作原理

無油渦旋真空泵由泵頭、電機(jī)、機(jī)座等構(gòu)成。泵頭含有動(dòng)、定渦旋盤、曲軸、密封件、風(fēng)扇和泵殼等。渦旋盤為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋形盤壁組成，定渦旋盤與動(dòng)渦旋盤組成渦旋盤付構(gòu)成無油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。工作過程中動(dòng)、定渦旋盤互不接觸，依靠相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔，通過吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)，北京渦旋真空泵，使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，實(shí)現(xiàn)對(duì)被抽腔體抽真空。

主要用途

真空鍍膜機(jī)，分析測(cè)試儀器，真空排氣/回收裝置，真空爐，排氣臺(tái)，高能束線，渦旋真空泵公司，等離子清洗，檢漏儀，真空包裝機(jī)，真空吸附搬運(yùn)。

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