真空除氣儲存柜主要參數(shù)

1、爐型結(jié)構(gòu)：臥式與立式，單室與雙室或多室，爐體爐門采用雙層水冷，前開門結(jié)構(gòu)。由爐體、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電控系統(tǒng)組成。

2、極限溫度：1500℃

3、工作區(qū)尺寸：按照用戶需求定制

4、設(shè)備總功率：20-100 KW（含加熱系統(tǒng)、真空機組、制冷機）

5、電源頻率：50Hz

6、電源電壓：三相380 V（±10V）

真空除氣儲存柜的技術(shù)參數(shù)

1. 腔室內(nèi)尺寸：①②號寬1050x高200x深700mm  ③號寬1050x高380x深700mm；

2. 極限真空度：2×10-5Pa；

3. 加熱烘烤：200-800℃烘烤除氣功能，±3℃；

4. 整體結(jié)構(gòu)型式：泵箱一體，三個腔室；

5. 觀察窗：每一個箱室均配一個Φ100觀察窗，硅片除氣裝置生產(chǎn)廠家，材質(zhì)為石英玻璃，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，自動保持真空，可手動獨立控制工作；

7. 異常報警功能：具有自動監(jiān)控各部分的運行狀態(tài)功能，河北硅片除氣裝置，異常診斷報警，硅片除氣裝置多少錢，故障診斷，并停止設(shè)備運行的功能。

真空除氣存儲柜工藝流程

真空除氣存儲柜、真空除氣爐的控制操作可以選擇手動與自動兩種模式。

該設(shè)備有兩種工藝流程：常溫保壓工藝與加熱除氣工藝。用戶可根據(jù)實際情況需要，硅片除氣裝置價格，在設(shè)備上設(shè)定需要的執(zhí)行功能與詳細(xì)的目標(biāo)參數(shù)。當(dāng)用戶設(shè)定參數(shù)之后，系統(tǒng)即按照用戶的設(shè)定參數(shù)默認(rèn)執(zhí)行。

設(shè)備具有很高的智能化，當(dāng)用戶設(shè)定的參數(shù)目標(biāo)值存在錯誤或邏輯沖突時，系統(tǒng)會及時提醒并不能按照錯誤的數(shù)據(jù)啟動運行設(shè)備。并可以提供20 組不同的參數(shù)組，供客戶選擇和修改。并且具備工藝記憶功能，方便客戶的使用。

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