高純供氣系統(tǒng)

供氣系統(tǒng)的連接應符合 GB 50236－2011《現(xiàn)場設備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范》等標準的要求［11］。管道的連接應采用法蘭連接或焊接等方法，氫氣管道不應使用絲扣連接; 高純氣體管道應采用承插焊接; 氣體管道與設備、閥門與管道或管件的連接應采用絲扣或法蘭連接; 絲扣接頭中的填料應采用聚四氟乙烯膜、一氧化鉛、甘油調(diào)合填料; 對于高純氣體管道與閥件的連接應采用高壓雙卡套接頭連接。

高純供氣系統(tǒng)

實驗室常用氣體為氫氣、壓縮空氣和氮氣。有條件的應遠離工作點設計具有防爆性能的氣體存放室，沒有條件的需設置帶有全自動報警功能的氣瓶安全柜存放。由氣瓶室引入的氣路，主要的控制閥門和減壓閥門都安裝在實驗室外。實驗室氣體管路主要材質(zhì)為不銹鋼，安裝在天花板下方，沿著墻走，這樣便于檢查和維修。此外，中央試驗臺氣體管路的引入通過服務柱;所有的氣體管路在工作臺上有合適的控制閥門和相應的取氣口，高純供氣多少錢，便于操作;所有氣體管路的連接采用無縫焊接。壓縮空氣氣體在管路上有個過慮雜質(zhì)和水分的凈化裝置，排氣管路不能并在一 起，盤管由不銹鋼材料制成，有足夠的韌性。減壓閥要有標示，標明壓力釋放級別。所有閥門、調(diào)節(jié)裝置、壓力表都由高質(zhì)量的不銹鋼制成，所 有氣體管路有合適的接地保護措施。

電子特氣系統(tǒng)的維護

由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風險的供應系統(tǒng)，因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護需要、有經(jīng)驗的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。

（1）特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護自動化程度較高，并且。在維護前關閉鋼瓶閥門，設置換瓶吹掃，程序自動進行抽氣，置換等動作，根據(jù)氣體性質(zhì)的不同，一般至少吹掃60次以上，負壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。

（2）管路的維護，由于不同的氣體性質(zhì)不一樣，對管路維護的方法也不相同，對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃（N2purge），一般至少反復30次，對于有吸附性的液態(tài)源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復的抽真空，抽完后關閉閥門，1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象，會造成管道泄漏的誤導，遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽，直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。

以上兩種系統(tǒng)維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負壓保壓為-12PSI，保壓時間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負波動。

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