采用壓力控制器方案，刀具納米涂層，控制往真空腔體內充入的惰性氣體的壓力以營造一個控制良好的鍍膜環(huán)境。與反應腔體直接連接的外置真空計測量持續(xù)的過程壓力，納米涂層，該壓力讀數(shù)通過模擬信號傳輸?shù)綁毫刂破鞑@示。

       進入腔體內的參與反應的氣體的流量由質量流量控制器控制。因為上述的壓力控制器可以測得腔體內的壓力、并通過調節(jié)非反應類氣體的含量實時調節(jié)過程壓力，納米涂層模具，從而使腔體內形成利于沉積的鍍膜環(huán)境。

金屬材料大多數(shù)的腐蝕發(fā)生在大氣環(huán)境中，大氣中含有氧氣、濕度、溫度變化和污染物等腐蝕成分和腐蝕因素。鹽霧腐蝕就是一種常見和有破壞性的大氣腐蝕。

鹽霧對金屬材料的腐蝕，主要是導電的鹽溶液滲入金屬內部發(fā)生電化學反應，形成“低電位金屬—電解質溶液一高電位雜質”微電池系統(tǒng)，發(fā)生電子轉移，作為陽極的金屬出現(xiàn)溶解，形成新的化合物即腐蝕物。鹽霧腐蝕破壞過程中起主要作用的是氯離子，它具有很強的穿透本領，容易穿透金屬氧化層進入金屬內部，破壞金屬的鈍態(tài)；同時，氯離子具有很小的水合能，容易被吸附在金屬表面，取代保護金屬的氧化層中的氧，使金屬受到破壞。

派瑞林涂層用于電子產品（如電路板、傳感器、馬達轉子、LED等），可增強線路的嵌接、消除臨界表面上的潮濕氣、金屬離子和其它污染物，且不改變電阻、電熱偶和其它元件的功能。主要起到防潮防水，耐腐蝕的防護效果。

派瑞林parylene涂層用于磁性材料，能克服磁性材料磨損中心磁性繞組電線失去絕緣性，這一缺陷，可形成耐摩擦的內表面，從而可加速延展和繞組過程.同時可以增加鐵氧體等磁性材料的介電性及耐高壓性能。主要起到絕緣、防銹、耐鹽霧的防護效果。

派瑞林Parylene涂層用于硅橡膠制品，在硅橡膠產品的表面形成一種均勻而極薄（2-3μm）且與原產品表面輪廓相一致的聚合物保護層。主要起到潤滑、防塵、耐磨、抗老化的防護效果。

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