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在選擇輸送管道的材質(zhì)時(shí)，我們需要考慮其滲透性、耐腐蝕性、吸附性、機(jī)械工藝性等特性。

1.目前市面上超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料大多選用不銹鋼材質(zhì)。像不銹鋼光亮退火管、不銹鋼電拋光管等這類材質(zhì)相較于其他管道的材質(zhì)，其精密度更高、吸水性弱，且耐腐蝕性強(qiáng)，而且材料成本相對(duì)綜合，較受歡迎。

2.對(duì)于易炸或者有毒高純氣體，如（SiH4）、（PH3）、（AsH3）等高純氣體，我們需要使用雙套管通道，將其內(nèi)外都進(jìn)行保護(hù)。雙層設(shè)計(jì)不僅可以保護(hù)內(nèi)管受到外力撞擊，也能將由內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管里面，防止泄露發(fā)生安全事故。而且對(duì)于這類氣體檢測裝備，像壓力警報(bào)器、檢測泄漏器等設(shè)備都需要定期檢查，避免泄氣漏氣。

3、選擇管道管材時(shí)必須選用無縫管材。且的造型設(shè)計(jì)、內(nèi)外直徑尺寸都是需要測量的。而且對(duì)于材質(zhì)的磨損缺陷需要及時(shí)復(fù)查，任何表面不均勻的現(xiàn)象都可能會(huì)造成腐蝕性不勻從而造成重大影響。

4、特別需要注意的是，所以高純氣體的管路中能使用非金屬管線、密封墊片，以及非金屬隔膜的減壓閥、膜片閥等材質(zhì)。因?yàn)檫@類氣體對(duì)于有機(jī)聚合物都有較高的滲透率，氣體之間的相互滲透將會(huì)影響氣體的純度。