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采用壓力控制器方案,派瑞林薄膜,控制往真空腔體內(nèi)充入的惰性氣體的壓力以營造一個控制良好的鍍膜環(huán)境。與反應腔體直接連接的外置真空計測量持續(xù)的過程壓力,該壓力讀數(shù)通過模擬信號傳輸?shù)綁毫刂破鞑@示。
進入腔體內(nèi)的參與反應的氣體的流量由質量流量控制器控制。因為上述的壓力控制器可以測得腔體內(nèi)的壓力、并通過調(diào)節(jié)非反應類氣體的含量實時調(diào)節(jié)過程壓力,從而使腔體內(nèi)形成利于沉積的鍍膜環(huán)境。
派瑞林涂層可保護各種橡膠和彈性體組件,包括密封件、墊圈,鍵盤、導管、塞子、級硅樹脂或橡膠產(chǎn)品,派瑞林涂層具有良好的生物相容性,磁鐵 派瑞林,無毒和化學惰性保護屏障,因此,對于提升器械防護性能具有很好的防護作用。
派瑞林(Parylene)涂層通過氣相沉積工藝在真空室中施加,并且在涂覆過程中,派瑞林單體能夠滲透橡膠和塑料的表面,從而提供優(yōu)異的粘附性。派瑞林(Parylene)薄而透明的柔韌特性通過保護表面和改善表面特性,提高了橡膠和彈性體組件的性能。在不降低部件功能性能的情況下進行這些改進。派瑞林(Parylene)產(chǎn)生真正的保形涂層部件,在平坦的表面區(qū)域和孔的內(nèi)部尺寸周圍具有一致的厚度。無派瑞林(Parylene)涂層可以防止物質轉移到涂層基材中或從涂層基材中轉移出來,即使在一個或兩個微米層中也是如此,派瑞林(Parylene)涂層密封較復雜的印刷品。
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