FSCU 用途

將 FSCU 嵌入到應(yīng)用系統(tǒng)中，F(xiàn)SCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機(jī)系統(tǒng)控制國(guó)內(nèi)外主流流量控制器（如北京七星華創(chuàng)、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止閥，可以讀取氣路中壓力信號(hào)或溫度信號(hào)并進(jìn)行轉(zhuǎn)換，智能流體數(shù)字控制模塊，從而實(shí)現(xiàn)氣路中常用元件的程序控制，實(shí)現(xiàn)溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。

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體積流量的表示方法

對(duì)多數(shù)用戶而言，智能流體數(shù)字控制模塊廠家，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說(shuō)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是， 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位， 不符合國(guó)內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國(guó)際單位（Kg/min）， 但是它符合國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI。

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FSCU介紹

FSCU（Flow System Control Unit）是北京曉韜科技有限公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)針對(duì)高校、研究院、科研型企業(yè)研發(fā)設(shè)計(jì)，F(xiàn)SCU 自動(dòng)化程度高、于高集成度、數(shù)據(jù)采集。適用于多種氣體、液體自動(dòng)化控制，在多種應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)槠淞可泶蛟斓臍怏w、液體流量控制系統(tǒng)單元，目前大量應(yīng)用于材料、催化、環(huán)境、化學(xué)、物理等相關(guān)科研領(lǐng)域。

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