氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測(cè)量和控制。其廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括微電子工藝設(shè)備，數(shù)字質(zhì)量控制器廠家，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測(cè)量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

壓力對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器影響有哪些？

市面上的熱式氣體質(zhì)量流量控制器的耐壓主要分為：10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要為差壓式(也稱節(jié)流式) 流量計(jì)是基于流體流動(dòng)的節(jié)流原理，利用流體流經(jīng)節(jié)流裝置時(shí)產(chǎn)生的壓力差而實(shí)現(xiàn)流量測(cè)量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要為熱式流量計(jì)，熱式流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。熱式流量計(jì)有兩個(gè)溫度傳感器被置于介質(zhì)中時(shí)，數(shù)字質(zhì)量控制器，其中一個(gè)傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。

氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調(diào)節(jié)閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大， 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，數(shù)字質(zhì)量控制器公司， 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源， 設(shè)定電位器， 和三位閥控開關(guān)等。

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