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電子特氣系統(tǒng)的維護(hù)
由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風(fēng)險(xiǎn)的供應(yīng)系統(tǒng),因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護(hù)需要、有經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護(hù)主要包含氣體柜維護(hù)和管路維護(hù)。
(1)特氣柜又分為全自動(dòng)特氣柜與半自動(dòng)特氣柜,每種氣柜的維護(hù)方法有一定的區(qū)別。全自動(dòng)氣柜維護(hù)自動(dòng)化程度較高,并且。在維護(hù)前關(guān)閉鋼瓶閥門,設(shè)置換瓶吹掃,程序自動(dòng)進(jìn)行抽氣,置換等動(dòng)作,根據(jù)氣體性質(zhì)的不同,一般至少吹掃60次以上,負(fù)壓保壓30分鐘以上,高純供氣價(jià)格,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。
(2)管路的維護(hù),由于不同的氣體性質(zhì)不一樣,對(duì)管路維護(hù)的方法也不相同,對(duì)腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮?dú)獯祾撸∟2purge),一般至少反復(fù)30次,對(duì)于有吸附性的液態(tài)源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復(fù)的抽真空,高純供氣生產(chǎn)廠家,抽完后關(guān)閉閥門,1小時(shí)后會(huì)出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象,會(huì)造成管道泄漏的誤導(dǎo),遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽,直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。
以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測(cè)試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負(fù)壓保壓為-12PSI,高純供氣廠家,保壓時(shí)間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負(fù)波動(dòng)。
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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測(cè)規(guī)定
1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀,其檢測(cè)精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特氣系統(tǒng),內(nèi)向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、閥座測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后,應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn),合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。系統(tǒng)測(cè)試完畢,應(yīng)充入高純氮?dú)?,并進(jìn)行吹掃。測(cè)試完畢后,應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。
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試驗(yàn)室供氣現(xiàn)狀
目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。同時(shí),當(dāng)?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲(chǔ)槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域,然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi)。
但是考慮安全和效率因素,不考慮經(jīng)濟(jì)性因素,集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。并成為當(dāng)今試驗(yàn)室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源,氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi),并可通過安裝在工作臺(tái)上的使用點(diǎn)二級(jí)減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。
國內(nèi)比較老的試驗(yàn)室在使用氣體的時(shí)候大多是將氣瓶放在用氣點(diǎn)的旁邊,然后在氣瓶出口處安裝一個(gè)減壓器,然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上,如果一個(gè)試驗(yàn)室里有多個(gè)使用設(shè)備時(shí),四川高純供氣,就會(huì)有很多氣瓶,同時(shí)有很多雜亂的管路,同時(shí)這些氣體不乏有毒氣體、強(qiáng)腐蝕氣體,以及氣瓶出口高壓等因素,使得這種方式在現(xiàn)實(shí)使用過程中是充滿危險(xiǎn)性的。
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