TORAY酸素濃度計(jì)MS-500

TORAY酸素濃度計(jì)MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

酸素濃度計(jì)

半導(dǎo)體?液晶?子部品関連用途

Oxygen Analyzer for Semiconductors， Electronic Components

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

酸素濃度計(jì) MS-500

MS-500

大8ポイントを同時測定が可能

ppmレベルから100%の幅広い濃度表示が出來ます。

半導(dǎo)體造裝置、真空裝置等への搭載に適

センサは直挿式(真空用NWフランジ16/25/40)

高耐久のセンサに特殊コーティングを施し、さらに耐久性を向上

MS-500 器仕様

測定原理ジルコニア濃淡池式

形狀分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式）

表示方式デジタル4桁表示(濃度表示)

測定レンジ0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20～10-0atm

自動レンジ

繰返性±0.5%FS以內(nèi) 0-1%レンジ以上

±1%FS以內(nèi)または±0.1ppmの大い方 0-1%レンジ未満

0-1ppm，TORAY東麗，atmレンジは濃度保範(fàn)囲外

測數(shù)1～8

サンプルガス條件圧力10-3～200KPa（絶対圧）

流量0.5～5，000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定)

濕度が周囲溫度以下

TORAY低濃度計(jì)LC-750L/PC-120

TORAY低濃度計(jì)LC-750L/PC-120

氧化鋯式氧濃度計(jì)使用上的一般注意事項(xiàng)

氧化鋯式氧濃度計(jì)在約700℃的高溫下工作。因此，在以下情況下，TORAY東麗RF-400 ，可能會影響不可測量及傳感器壽命。

因?yàn)檠鯕鉂舛扔?jì)內(nèi)部有氣爐，所以設(shè)置氣氛不能在防爆地區(qū)使用。

可燃性氣體（例如氫、、酒精、等）混入氧氣計(jì)內(nèi)部時，TORAY東麗TOC-710，會引起燃燒反應(yīng)，造成測量誤差。

有性二氧化硅（用于密封材料等）會引起傳感器劣化。（作為引起傳感器劣化的原因，是非常多的原因之一。

鹵素系（特別是氯）會引起傳感器不良。

像一樣卡路里高的物質(zhì)斷斷續(xù)續(xù)地混入的話，接受履歷引起傳感器不良。

大量混入Nox、Sox等腐蝕性氣體會引起傳感器不良。

氟利昂氣體在高溫下發(fā)生分離反應(yīng)，可能引起傳感器劣化。

水滴、灰塵、霧是傳感器的破損？導(dǎo)致短壽命及誤差。測定含有這些氣體時，請?jiān)陬A(yù)先除去的基礎(chǔ)入氧濃度計(jì)。關(guān)于去除方法，請?jiān)谫徺I前咨詢。

TORAY微量氧分析儀LC-750F

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860、SD/LD-450

RF-400、LC-750H/PC-111

LC-750H、LC-750H/PC-110、LC-750L、LC-750L/PC-120

SD/LD-450、LC-450F、LC-750F、LF-200

TORAY氧氣濃度計(jì)MS-500

TORAYMS-510(轉(zhuǎn)換器)、MS-500(控制器)

TORAY氧濃度計(jì)LC-450A、LC-450D

TORAY氧濃度計(jì)LC-860

TORAY氧濃度計(jì)RF-400、LC-750H、PC-111

TORAY氧濃度計(jì)LC-750H、LC-750L、LC-750H/PC-110、LC-750L/PC-120

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