發(fā)塵量無塵室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，無塵室設(shè)備定位安裝方案，一般量小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵量也不斷減少。A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。B、樣式：大掛式發(fā)塵量大，上下分裝型次之，全罩型少；C、活動(dòng)：動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時(shí)間3-7倍；D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。

  在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量，臺州無塵室設(shè)備，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。

　　無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則：

      排除/除去

　　在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，無塵室設(shè)備拆卸運(yùn)輸公司，負(fù)離子檢測儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。

　 在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計(jì)算出來的數(shù)值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時(shí)間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。

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