半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)

廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

空壓氣體工程：螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤(rùn)滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤(rùn)滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲(chǔ)氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。

智能平臺(tái):潔凈系統(tǒng)中的風(fēng)量控制

智能平臺(tái)：潔凈系統(tǒng)中的風(fēng)量控制采用文丘里閥門，化妝品廠車間裝修，實(shí)時(shí)監(jiān)控流量及狀態(tài)，可在線診斷。并可以維持房間壓力、溫度、濕度的平穩(wěn)可靠。中控室中把空調(diào)、特氣、純水、監(jiān)控、房間溫濕度等參數(shù)集成管理、顯示、儲(chǔ)存，并對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行打印輸出及溯源查找。并經(jīng)設(shè)備輸出在參觀通道播放，化妝品廠車間裝修工程，方便參觀。弱電系統(tǒng)工程：高清視頻監(jiān)控系統(tǒng)空調(diào)動(dòng)力電工程：統(tǒng)計(jì)總用電量約830KW，化妝品廠車間裝修價(jià)格，空調(diào)用電約330KW。動(dòng)力（鍍鋅線槽）沿墻體及天花敷設(shè)，化妝品廠車間裝修設(shè)計(jì)，再分至車間及設(shè)備電箱，安裝在樓板下。主電纜采用YJV型號(hào)。

電子無塵車間，尤其是十萬級(jí)無塵車間常用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造；較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)；液壓或氣壓系統(tǒng)的制造；食品飲料的生產(chǎn)；工業(yè)。對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案。

電子無塵車間凈化方案：組合式空氣處理機(jī)組 冷水機(jī)組 送風(fēng)口。這是一個(gè)傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、出校過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段（或中間段）、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。

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