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光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。級別zui高的當(dāng)屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領(lǐng)域,凈化工程公司,面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。
對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。凈化工程是指需要對塵粒及微生物含量進(jìn)行控制的區(qū)域,該區(qū)域的建造結(jié)構(gòu)、裝備及使用不僅能夠截留粒子而且會(huì)盡可能地減少粒子向該區(qū)域介入。凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng),凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r(shí),則不應(yīng)用回風(fēng)。
對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。凈化工程裝修施工前必須注意的問題,確認(rèn)工程設(shè)計(jì)圖紙,技術(shù)要求,并與各施工團(tuán)隊(duì)進(jìn)行探討,各個(gè)團(tuán)隊(duì)的注意事項(xiàng)和團(tuán)隊(duì)之間的協(xié)作。凈化工程常用材料是PVC地板,有卷材、片材PVC地板,防靜電(表面電阻106-109ΩPVC地板可供選擇,顏色多樣。
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