全自動(dòng)濕法超聲波膠塞清洗機(jī)由清洗機(jī)構(gòu)、熱風(fēng)機(jī)構(gòu)、出料機(jī)構(gòu)、全自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)、吸料機(jī)構(gòu)、蒸汽裝置和抽真空裝置組成。吸料機(jī)構(gòu)由吸料管和抽真空裝置組成，抽真空裝置包括真空泵、水分離器、管道和閥門(mén)，真空泵前連通有水分離器，真空泵后和清洗箱連通，蒸汽裝置由蒸汽噴管、管道和閥門(mén)構(gòu)成，蒸汽管道通過(guò)蒸汽進(jìn)汽閥和清洗箱內(nèi)的蒸汽噴管連通，硅片刻蝕機(jī)，滅菌效果好，時(shí)間大大縮短。膠塞內(nèi)外含水率低，保用期長(zhǎng)，吸料快，不損傷膠塞。

高壓清洗機(jī)是通過(guò)動(dòng)力裝置(電動(dòng)機(jī)、柴油機(jī))使高壓柱塞泵產(chǎn)生高壓水來(lái)沖洗物體表面的機(jī)器。它能將污垢剝離，沖走，硅片，達(dá)到清洗物體表面的目的。因?yàn)槭鞘褂酶邏核謇砦酃?，所以高壓清洗也是世界公認(rèn)較科學(xué)、經(jīng)濟(jì)、環(huán)保的清潔方式之一?？煞譃楦鶕?jù)現(xiàn)場(chǎng)使用和工藝要求可分為：冷水式、熱水式、在特殊場(chǎng)合還有防爆式、食品行業(yè)專(zhuān)用式等多種。

MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展，硅片腐蝕臺(tái)，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。

化學(xué)清洗槽（也叫酸槽/化學(xué)槽），主要有HF，H2SO4，H2O2，HCL等酸堿液體按一定比例配置，硅片酸洗，目的是為了去除雜質(zhì)，去離子，去原子，后還有DI清洗。IPA是，就是工業(yè)酒精，是用來(lái)clean機(jī)臺(tái)或parts的，是為了減少partical的。

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