無(wú)塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無(wú)塵室。

     每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A，紹興無(wú)塵室設(shè)備，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

    除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過(guò)潔凈程序，無(wú)塵室設(shè)備包裝搬遷怎么收費(fèi)，方不至于影響潔凈室潔凈度。其進(jìn)潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行，但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級(jí)1000或10，000級(jí)房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時(shí)必須穿著清潔衣服，無(wú)塵室設(shè)備吊裝搬遷報(bào)價(jià)，所使用擦拭紙為無(wú)塵紙或不會(huì)脫落纖毛無(wú)塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設(shè)備時(shí)為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過(guò)的不銹鋼板，作為輔助。

    1、無(wú)塵室廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點(diǎn)和防止交叉污染，按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局，不得互相防礙。

    2、無(wú)塵室廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套，必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉(cāng)庫(kù)、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外，還應(yīng)配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時(shí)堆放場(chǎng)地、停車庫(kù)、機(jī)修、飯?zhí)玫容o助設(shè)施.輔助設(shè)施必須因地制宜，按實(shí)際需要配套，無(wú)塵室設(shè)備拆卸運(yùn)輸公司，缺一都會(huì)影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生，影響生產(chǎn)正常進(jìn)行。

    3、設(shè)置有無(wú)塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對(duì)位置及與廠內(nèi)其它廠房設(shè)施之間的相對(duì)位置，適用于遠(yuǎn)離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源，在污染源上風(fēng)側(cè)，并有一定防護(hù)距離的原則。

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