氦質(zhì)譜檢漏儀

今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的相關知識，希望對您有所幫助！

氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經(jīng)得到廣泛的應用，這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數(shù)量級，儀器響應快，氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。在一般工業(yè)領域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在導1彈武1器裝備中也離不開檢漏，導1彈彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏，本文主要真對氦質(zhì)譜檢漏原理及方法進行綜述。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，六氟化硫空箱檢漏系統(tǒng)，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。

氦氣檢漏的主要技術性能

1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;

2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng)，生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM；

3.開門方式，可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設計，充氣柜真空箱檢漏系統(tǒng)，一般為平開門式、滑臺合箱式；

4.上下料采用機械手或機器人，正常生產(chǎn)時設備無需人工操作；

5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置，可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應存儲；

6.具有清氦功能

7.具有氦氣回收功能（此功能可選）

8.自動判斷，電力環(huán)網(wǎng)柜真空箱檢漏系統(tǒng)，并對應放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）

9.可通過觸摸屏設置不同等級密碼，更改設備參數(shù)；

10.人機交互界面，觸摸屏實時反映運行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù)；

11.故障統(tǒng)計功能

12.系統(tǒng)采用配置和標準化設計制作，確保運行穩(wěn)定，。

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