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超純水的水質(zhì)直接關(guān)系到半導(dǎo)體成品率
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,超純水可用于晶圓漂洗、化學(xué)稀釋、化學(xué)機械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等。超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的成品率,隨著半導(dǎo)體元件尺寸的縮小和細度的提高,對超純水質(zhì)量的技術(shù)要求也在不斷提高。
在超純水生產(chǎn)過程中,唐山edi超純水設(shè)備,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標稍有差異,就會使半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。
超純水設(shè)備出水符合芯片生產(chǎn)用水需求 在芯片生產(chǎn)中,幾乎每一道工序都需要超純水清洗,工件與水直接接觸。一旦水質(zhì)不達標或水中含有雜質(zhì),就會降低設(shè)備性能,降低產(chǎn)量。確保超純水的質(zhì)量是我國自主研發(fā)芯片的重要基礎(chǔ)。傳統(tǒng)的超純水生產(chǎn)工藝采用陰離子樹脂交換設(shè)備。這種工藝的缺點是樹脂在使用一段時間后會頻繁地再生,增加成本。隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟,萊特萊德采用反滲透工藝,或反滲透后再采用EDI和拋光混床工藝生產(chǎn)超純水,出水電導(dǎo)率可達18.2MΩ,滿足芯片行業(yè)用水需求。隨著芯片制造工藝中對設(shè)計的需求更小,對純水水質(zhì)的要求也越來越嚴格。萊特萊德芯片超純水設(shè)備能在一定程度上去除水中的二氧化硅、顆粒、細菌、有機物和微生物,edi超純水設(shè)備廠,從而達到行業(yè)用水要求。
導(dǎo)致超純水水質(zhì)惡化的原因有哪些?設(shè)計 清洗過程中,edi超純水設(shè)備廠家,平底水箱中的水不能排出。無法排凈的水是細菌生長的溫床。因此,edi純水設(shè)備,我們建議使用錐形底部的水箱以便排空所有水。水箱應(yīng)通過吹塑成型,以防止凹凸不平的表面為細菌的生長和繁殖提溫床。 分配 良好的分配泵應(yīng)連續(xù)工作10小時也不會造成溫度升高,避免為細菌生長提供條件。消毒 即使是微生物的繁殖也會形成生物膜,降低水質(zhì)。因此,安裝能夠抑制細菌生長的消毒模塊(紫外線燈)非常重要。
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